ULVAC愛發(fā)科 羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵）應(yīng)用

什么是機(jī)械增壓泵？

　機(jī)械增壓泵是一種可以大幅提高泵送速度的泵。

機(jī)械增壓泵的特點(diǎn)

　通過與油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵組合，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)，可以大幅提高排氣速度。

【優(yōu)點(diǎn)】在10KPa~0.1Pa的壓力范圍內(nèi)，可大幅提高抽速。

【缺點(diǎn)】無法依靠大氣壓自行運(yùn)轉(zhuǎn)。

機(jī)械增壓泵的工作原理

　機(jī)殼內(nèi)的兩個(gè)繭形轉(zhuǎn)子通過軸端的驅(qū)動(dòng)齒輪同步反向旋轉(zhuǎn)。從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被困在機(jī)殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而從排氣口排出，再由下游級的輔助泵排入大氣。

（羅茨真空泵作為一種高效的真空設(shè)備，其工作原理依賴于轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)的高速旋轉(zhuǎn)，通過吸氣、壓縮和排氣的過程實(shí)現(xiàn)抽真空?。）

機(jī)械增壓泵的主要用途

　半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)、太空開發(fā)、真空浸漬、真空干燥等。

應(yīng)用行業(yè)

化工、醫(yī)藥、食品、電子、環(huán)保領(lǐng)域、冶金行業(yè)、半導(dǎo)體制造行業(yè)?

化工行業(yè)

在化工生產(chǎn)中，羅茨真空泵廣泛應(yīng)用于真空蒸餾、真空干燥和真空濃縮等工藝過程中。通過抽真空降低系統(tǒng)壓力，有助于降低物料的沸點(diǎn)，提高反應(yīng)速率和產(chǎn)品質(zhì)量?。

醫(yī)藥行業(yè)

在醫(yī)藥制造過程中，羅茨真空泵常用于真空干燥、真空混合等工序。這些工序?qū)τ谒幤返募兌群唾|(zhì)量至關(guān)重要，因此羅茨真空泵在醫(yī)藥行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景?。

食品行業(yè)

在食品加工中，羅茨真空泵可用于真空包裝、真空脫氣等環(huán)節(jié)。通過抽真空可以延長食品的保質(zhì)期，提高產(chǎn)品的口感和品質(zhì)?。

電子行業(yè)

羅茨真空泵在電子行業(yè)中主要用于半導(dǎo)體制造工藝。由于半導(dǎo)體制造對真空系統(tǒng)的性能要求高，尤其是需要有效清除腐蝕性氣體、微細(xì)粉塵及有害氣體等雜質(zhì)，羅茨真空泵在這些領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用?。

環(huán)保行業(yè)

羅茨真空泵在環(huán)保領(lǐng)域也有應(yīng)用，例如在處理工業(yè)廢氣時(shí)，通過抽真空可以有效去除有害氣體，保護(hù)環(huán)境。?

冶金行業(yè)中，羅茨真空泵被用來抽取爐內(nèi)的空氣，以創(chuàng)造一個(gè)無氧環(huán)境，從而提高冶煉的質(zhì)量和效率?。

半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用包括：

?薄膜沉積?：在沉積薄膜的過程中，羅茨真空泵能夠去除反應(yīng)室中的氣體雜質(zhì)，確保薄膜的質(zhì)量和均勻性?。

?光刻?：在光刻過程中，羅茨真空泵確保反應(yīng)室的真空度，保證光刻膠的均勻涂布和曝光效果?。

?蝕刻?：在蝕刻過程中，羅茨真空泵維持所需的真空度，確保蝕刻過程的精確控制?。