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倒置金相顯微鏡的校準流程

來源:上海締倫光學儀器有限公司   2025年06月10日 11:49  
  倒置金相顯微鏡的校準是保證其觀測精度和數(shù)據(jù)可靠性的關鍵步驟,需系統(tǒng)性地對機械、光學、電氣等模塊進行綜合調整。以下是詳細的校準流程及技術要點:
  一、校準前準備工作
  1. 環(huán)境與設備檢查
  - 穩(wěn)定性要求:將顯微鏡置于無振動、溫度波動小的穩(wěn)固平臺上,避免陽光直射或氣流干擾。
  - 清潔處理:使用無塵布和光學清潔劑擦拭物鏡、目鏡、載物臺及光源鏡頭,防止顆粒污染影響成像。
  - 工具準備:備妥標準測微尺(0.01mm)、校準片、千分表、標準樣品(如已知粒徑的金屬試樣)等工具。
  2. 設備預熱與初始化
  - 接通電源后預熱15-30分鐘,確保光源亮度和機械結構達到穩(wěn)定狀態(tài)。
  - 加載配套軟件,輸入儀器參數(shù)(如物鏡倍率、光源強度),恢復出廠設置以消除人為誤操作影響。
  二、機械系統(tǒng)校準
  1. 聚焦系統(tǒng)校驗
  - 粗/細調焦旋鈕:檢查旋鈕轉動平滑性,通過旋轉粗調旋鈕快速接近樣品,再使用細調旋鈕微調至圖像清晰。若阻力不均或卡頓,需潤滑或調整機械導軌。
  - 自動聚焦測試:對配備自動聚焦功能的型號,用標準樣品反復測試聚焦一致性,確保重復定位誤差<5μm。
  2. 載物臺與物鏡轉換器校準
  - 載物臺水平性:放置標準網(wǎng)格樣本,移動載物臺并觀察網(wǎng)格是否平移,若出現(xiàn)扭曲則調整載物臺螺絲。
  - 物鏡轉換精度:旋轉物鏡轉換器,檢查各倍率物鏡是否精準切換至光路中心。若圖像偏移,需調整轉換器定位銷或清潔接觸面。
  三、光學系統(tǒng)校準
  1. 光源與照明調整
  - 光源居中:調整燈箱位置或反射鏡角度,使光線均勻通過物鏡光瞳。使用校準片觀察光斑,確保無亮暗不均現(xiàn)象。
  - 柯勒照明配置:通過聚光鏡與可變光闌匹配,調整光圈大小以優(yōu)化對比度。例如,高倍物鏡(100X)需縮小光闌提升景深。
  2. 物鏡與目鏡校準
  - 物鏡場曲修正:放置0.01mm測微尺,分別對視場中心和邊緣調焦,用千分表測量工作臺位移量,要求場曲誤差不超過限值(如10X物鏡≤0.20mm)。
  - 放大倍數(shù)校驗:組合10X目鏡與被檢物鏡,觀察測微尺刻線與目鏡分劃板是否對齊。誤差需控制在±5%以內(nèi),否則需調整物鏡焦距或更換校準片。
  - 目鏡分劃板校準:拆卸目鏡后,在萬工顯上直接丈量分劃板刻線間距,誤差應小于5μm。
  四、測量系統(tǒng)校準
  1. 標尺與測微尺驗證
  - 隨機測微尺檢測:用阿貝比長儀丈量測微尺刻線間距,每20格檢測一次,累計誤差不得超過3μm。
  - 單刻線榜樣法:將已知寬度的單刻線榜樣置于載物臺,調整至與分劃板刻線垂直,計算示值誤差δ=(L測-L標)/L標×100%,要求δ≤規(guī)范值。
  2. 軟件與成像同步
  - 像素校準:對數(shù)碼顯微鏡,需用標準測微尺拍攝圖像,通過軟件算法匹配像素距離與實際尺寸,建立長度-像素轉換關系。
  - 通道一致性檢查:多攝像頭系統(tǒng)需校驗各通道白平衡、增益參數(shù),確保拼接圖像無色差。
  五、校準后驗證與記錄
  1. 性能驗證
  - 使用已知參數(shù)的標準樣品(如奧氏體晶粒度試樣)成像,對比實測值與標稱值,確認誤差在允許范圍內(nèi)。
  - 連續(xù)多次測量同一位置,檢驗重復性誤差是否滿足要求(通常≤1%)。
  2. 數(shù)據(jù)記錄與維護
  - 記錄校準參數(shù)(如物鏡倍率、光源強度、焦距值)、環(huán)境條件及驗證結果,形成檔案以便追溯。
  - 定期維護(每3-6個月清潔光路,每年全面校準),更換老化部件(如燈泡、密封圈)。

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