IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵：精密制造領(lǐng)域的流體控制革新者！

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵是專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的高精度流體輸送設(shè)備，憑借其耐腐蝕性、高精度控制、無(wú)污染設(shè)計(jì)及高效能特性，在化學(xué)液體供藥、清洗和CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）制程中表現(xiàn)出色，成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要工具。本文將從技術(shù)特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景及優(yōu)勢(shì)三個(gè)方面展開(kāi)分析：

一、核心技術(shù)突破：從材料到結(jié)構(gòu)的全面創(chuàng)新

1、無(wú)金屬污染設(shè)計(jì)：氟樹(shù)脂材料的應(yīng)用

易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵的核心過(guò)流部件采用PTFE（聚四氟乙烯）與PFA（全氟烷氧基樹(shù)脂）材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)從泵體到閥門(mén)的全氟化設(shè)計(jì)。這種材料組合不僅耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕，更通過(guò)無(wú)金屬接觸設(shè)計(jì)，將顆粒物產(chǎn)生率降低至行業(yè)的0.1μm以下。例如，F(xiàn)S系列泵在180℃高溫下仍能保持化學(xué)穩(wěn)定性，適用于氫氟酸、硫酸等高?；瘜W(xué)品的輸送。

2、高速?zèng)_程與低脈動(dòng)控制

FS系列泵的沖程速度可達(dá)240次/分鐘（spm），較傳統(tǒng)泵提升30%效率。其內(nèi)置傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通過(guò)電磁閥精準(zhǔn)控制沖程長(zhǎng)度與頻率，將脈動(dòng)寬度壓縮至0.06MPa以下。這一特性在CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）制程中尤為關(guān)鍵，可避免因流量波動(dòng)導(dǎo)致的晶圓表面劃痕。

3、模塊化維護(hù)與智能控制

泵體采用快拆式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，更換開(kāi)關(guān)無(wú)需拆卸管路或螺栓，停機(jī)時(shí)間縮短至15分鐘以?xún)?nèi)。內(nèi)置式傳感器支持PWM信號(hào)輸入，可與PLC或DCS系統(tǒng)無(wú)縫對(duì)接，實(shí)現(xiàn)流量遠(yuǎn)程監(jiān)控與自適應(yīng)調(diào)節(jié)。

4、寬溫度范圍與高壓能力

液體輸送溫度范圍可達(dá)5°C至180°C，吐出壓力高達(dá)45MPa，能夠適應(yīng)多種工藝條件，包括高溫清洗和高壓供藥。

二、行業(yè)應(yīng)用：從晶圓清洗到化學(xué)品供藥的全場(chǎng)景覆蓋

1、晶圓清洗與蝕刻：在半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中，易威奇氣動(dòng)泵需輸送高純度化學(xué)品（如SC1、SC2溶液）并精確控制流量。FS-N系列泵憑借0.7MPa的高壓輸出與5-60℃的寬溫域適應(yīng)性，可滿足單片清洗設(shè)備對(duì)高流速、低殘留的要求。其氟樹(shù)脂材質(zhì)避免了金屬離子析出，確保晶圓表面潔凈度達(dá)到ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)。

2、CMP制程的精密供藥：CMP工藝中，拋光液的濃度與流量需精確至毫升級(jí)。CFD系列泵以8mL/stroke的微小吐出量與0.05MPa的低壓設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)拋光液的穩(wěn)定供給。其低脈動(dòng)特性可避免拋光墊表面液膜厚度波動(dòng)，提升晶圓全局平坦化效果。

3、化學(xué)品供藥系統(tǒng)的安全保障：在光刻膠、顯影液等高價(jià)值化學(xué)品的輸送中，PDS-H115系列泵以12mL/shot的精準(zhǔn)計(jì)量與1.0MPa的高壓輸出，結(jié)合10,000mPa·s的高粘度適應(yīng)能力，確保供藥系統(tǒng)的穩(wěn)定性。其IP66防護(hù)等級(jí)與防爆設(shè)計(jì)，適用于光刻車(chē)間等高危環(huán)境。

三、為何選擇IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵？

1. 高可靠性：IWAKI易威奇作為流體控制設(shè)備制造商，其產(chǎn)品經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試，能夠在惡劣工況下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

2. 節(jié)能高效：氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式無(wú)需電力，降低能耗，同時(shí)減少電火花風(fēng)險(xiǎn)，適用于易燃易爆環(huán)境。

3. 廣泛適用性：泵體可輸送低粘度至高粘度液體，滿足半導(dǎo)體制造中多種化學(xué)液體的輸送需求。

4. 智能化控制：內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制電磁閥，可輕松連接各種控制器，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。

選擇IWAKI易威奇，就是選擇半導(dǎo)體制造的“隱形守護(hù)者”。

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵以材料科學(xué)、流體動(dòng)力學(xué)與智能控制的深度融合，重新定義了半導(dǎo)體制造中的流體控制標(biāo)準(zhǔn)。從晶圓廠的無(wú)塵車(chē)間到化學(xué)品供藥系統(tǒng)的核心環(huán)節(jié)，其技術(shù)突破不僅提升了生產(chǎn)效率與良率，更推動(dòng)了行業(yè)向智能化、綠色化方向演進(jìn)。未來(lái)，隨著AI與物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的進(jìn)一步滲透，易威奇將持續(xù)推動(dòng)半導(dǎo)體流體控制領(lǐng)域的創(chuàng)新浪潮。