B-72WJ 是日本 YAMAMOTO(山本鍍金)生產(chǎn)的 ?螺旋應力計?,主要用于工業(yè)領域中的 ?電鍍應力精確測量與控制?,其核心用途及技術特點如下:
一、核心用途?
?實時監(jiān)測電鍍內(nèi)部應力?
通過傳感器測量基板應變,實時分析電鍍層內(nèi)部應力變化,適用于薄膜、晶圓等精密元件的微弱應力檢測(可測低至0.5μm膜厚)。
?多階段應力追蹤?
在一次測量中記錄不同電鍍時間(膜厚)的應力數(shù)據(jù),并支持在已鍍膜層上二次鍍覆時的疊加應力分析。
?兼容特殊工藝環(huán)境?
適用于堿性浴、化學鍍等場景,滿足半導體、電子元件制造中對低應力鍍層的工藝要求。
二、技術特點?
?三、典型應用場景?
?半導體制造?:晶圓鍍膜應力控制,確保微電路結(jié)構穩(wěn)定性。
?精密電子元件?:薄膜電容器、微型傳感器等鍍層的應力管理。
?科研與質(zhì)檢?:電鍍工藝開發(fā)中的應力再現(xiàn)性驗證(重復誤差≤±2%)。
注:設備需搭配專用燒杯和測試件進行低應力測量,部分功能套裝含CE認證。
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