真空計概述

常見的真空計類型

1. 皮拉尼真空計（Pirani Gauge）
• 工作原理：利用熱絲的熱傳導(dǎo)變化來測量氣體壓力。當(dāng)氣體壓力降低時，熱絲的散熱效果變差，電阻變化，通過測量電阻變化來確定壓力。
• 測量范圍：通常適用于10?3 Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，成本較低，適用于粗真空測量。
• 缺點：在高真空下精度較低，需要校準。
2. 熱電偶真空計（Thermocouple Gauge）
• 工作原理：與皮拉尼真空計類似，但使用熱電偶來測量溫度變化。
• 測量范圍：通常適用于10?2 Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。
• 缺點：精度較低，需要校準。
3. 冷陰極電離真空計（Cold Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用高電壓產(chǎn)生的電離效應(yīng)來測量氣體壓力。當(dāng)氣體分子被電離時，產(chǎn)生的離子電流與氣體壓力成正比。
• 測量范圍：通常適用于10?1 Torr到10?? Torr的范圍。
• 優(yōu)點：測量范圍寬，精度高。
• 缺點：需要高電壓，成本較高。
4. 熱陰極電離真空計（Hot Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用熱陰極發(fā)射的電子與氣體分子相互作用產(chǎn)生的離子電流來測量氣體壓力。
• 測量范圍：通常適用于10?? Torr到10?1? Torr的范圍。
• 優(yōu)點：測量精度高，適用于高真空環(huán)境。
• 缺點：需要加熱元件，成本較高。
5. 電容式真空計（Capacitance Manometer）
• 工作原理：利用電容變化來測量氣體壓力。當(dāng)氣體壓力變化時，電極之間的電容也會變化。
• 測量范圍：通常適用于10?? Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點：測量精度高，線性好。
• 缺點：成本較高，需要定期校準。

可能與之相似的設(shè)備和品牌

1. Pfeiffer Vacuum（德國）
• 產(chǎn)品特點：Pfeiffer Vacuum是全的球的知的名的真空設(shè)備制造商，提供多種類型的真空計，包括皮拉尼真空計、冷陰極電離真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
2. Edwards（英國）
• 產(chǎn)品特點：Edwards提供多種高性能的真空計，包括皮拉尼真空計、冷陰極電離真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)、航空航天等領(lǐng)域。
3. Varian（美國）
• 產(chǎn)品特點：Varian（現(xiàn)為Agilent Technologies的一部分）提供多種高精度的真空計，包括電容式真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。

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使用方法

• 安裝：將真空計安裝在需要測量的真空系統(tǒng)中，確保連接牢固，密封良好。
• 校準：在使用前，需要對真空計進行校準，確保測量結(jié)果的準確性。
• 測量：打開真空系統(tǒng)，啟動真空計，根據(jù)儀器的指示進行測量。
• 數(shù)據(jù)記錄：記錄測量數(shù)據(jù)，進行分析和處理。

維護和注意事項

• 定期校準：為了確保測量結(jié)果的準確性，建議定期對真空計進行校準。
• 清潔和維護：定期清潔真空計的傳感器和連接部件，避免灰塵和雜質(zhì)影響測量結(jié)果。
• 避免過載：避免在超出測量范圍的條件下使用真空計，以免損壞儀器。
• 存儲條件：在不使用時，應(yīng)將真空計存放在干燥、清潔的環(huán)境中，避免受潮和腐蝕。