泰勒霍普森輪廓儀 CCI MP-HS 是一款高性能的非接觸式光學(xué)輪廓儀,具有測量精度高、功能多樣、操作簡便等特點,以下是詳細介紹:
主要特點:
高速測量:配備一百萬高速相機,掃描速度高達 100 微米 / 秒,在高速測量時可減少丟失點、降低環(huán)境影響,保證測量結(jié)果的準確性。
高分辨率:擁有 1048×1048 像素陣列,結(jié)合 1/10 埃垂直分辨率,無論是粗糙還是光滑表面,都能獲得詳細分析。
測量模式簡便:采用單一掃描模式,憑借的 “相干相關(guān)” 算法,可在任意掃描范圍內(nèi)實現(xiàn)亞埃級分辨率,無需因不同表面而切換復(fù)雜模式。
抗振抗噪:整合抗振功能,優(yōu)化抗噪性能,減少環(huán)境干擾導(dǎo)致的測量不確定性,數(shù)據(jù)質(zhì)量更穩(wěn)定。
節(jié)能環(huán)保:主機耗電僅有 250W,在同類產(chǎn)品中耗電低,且不需要任何消耗品,無排放,不污染環(huán)境。
技術(shù)參數(shù):
拼接功能:具備高級 X、Y、Z 拼接功能,可擴展量程,能應(yīng)對大尺寸工件的全域表面分析。
重復(fù)精度:RMS 重復(fù)精度 < 0.2 埃,階躍高度重復(fù)精度 < 0.1%,測量穩(wěn)定性高。
軟件系統(tǒng):搭載多語言版本的 Windows 64 位軟件,操作界面友好,方便不同地區(qū)用戶使用。
應(yīng)用領(lǐng)域:可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工、精密機械、航空航天等領(lǐng)域。能滿足實驗室級別的科研分析,也適用于工廠生產(chǎn)線的批量質(zhì)檢,可測量玻璃、金屬、聚合物等多種材料,以及拋光表面、粗糙表面、曲面等多種類型的表面。
與 CCI MP 的對比:兩者均為非接觸式 3D 輪廓儀,都有 1048×1048 像素陣列,具備高分辨率與廣視場特點,RMS 重復(fù)精度均 < 0.2 埃,階躍高度重復(fù)精度均 < 0.1%,且都搭載多語言 Windows 64 位軟件。但 CCI MP-HS 在掃描速度上更具優(yōu)勢,擁有一百萬高速相機且掃描速度達 100 微米 / 秒;在拼接功能上描述為高級 X、Y、Z 拼接;還特別強調(diào)了整合抗振和優(yōu)化抗噪性能。而 CCI MP 則突出采用新型關(guān)聯(lián)算法查找干涉圖相干峰和相位,轉(zhuǎn)臺可同步裝配多種標的物,其新型 X、Y、Z 拼接量程可達 100 毫米,且明確提到全量程埃級分辨率。
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