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半導體襯底，掩模板，外延片瑕疵測試中外延片的瑕疵檢測難度最小，因為半導體外延片表面為黑色，而襯底和掩模板一般為半透明，透明材質(zhì)的檢測難度大于有色材質(zhì)的難度。深圳熒鴻表面瑕疵檢測燈SL8500可檢測襯底，掩模板，外延片瑕疵，不過檢測的方法略有不同。
瑕疵檢測燈SL8500采用一顆20W進口LED并配上深圳熒鴻研發(fā)的光學鏡片，使其照度比一般的都高，可檢測大多數(shù)的微小瑕疵（1um）。SL8500有白光和黃綠光兩種光源，樣式為桌面式。SL8500采用1顆20W 高亮度進口LED加定制的光學鏡片； LED平均壽命是30000小時，可添加不同濾光片得到不同波長的光源。SL8500在30cm距離處，光照度為15萬LX，可檢測大部分瑕疵。有更高要求瑕疵檢測，可采用SL8600或SL8900。
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