真空程控型勻膠機是一種通過真空吸附基片、程序化控制轉(zhuǎn)速曲線實現(xiàn)液體/膠狀材料精密成膜的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子等領(lǐng)域的薄膜制備。
真空程控型勻膠機工作時將樣品用粘接的方法固定在載樣盤上,然后開動勻膠機將設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)置在一定的轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi),在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設(shè)置一定的注膠時間對樣品進行注膠,注膠結(jié)束后勻膠機會提升轉(zhuǎn)數(shù)限轉(zhuǎn)數(shù)進行勻膠,在勻膠之前要對勻膠時間進行設(shè)置,當(dāng)勻膠時間結(jié)束后機器自動停止運轉(zhuǎn),涂膜的整個過程結(jié)束。
產(chǎn)品優(yōu)點:
75W直流無刷電機,單片機控制。
高清晰文本顯示器。
可單步和多步勻膠操作。
防堵膠設(shè)計。
PP耐腐蝕內(nèi)腔,可更換。
耐溶劑PC透明蓋。
耐腐蝕易清潔PP外殼。
多角度定位鉸鏈設(shè)計。
鋁質(zhì)合金真空吸盤。
關(guān)鍵技術(shù)與維護:
真空系統(tǒng)管理:
真空度調(diào)節(jié):拔出旋鈕順時針增壓,逆時針減壓,完成后按壓鎖定;
吸附力下降時,向抽氣孔滴入酒精/丙酮清洗管路。
腔體防護:
聚四氟乙烯材質(zhì)腔體:耐化學(xué)腐蝕,適配強酸/溶劑環(huán)境;
開蓋保護功能:運行中開蓋自動停機,避免溶液飛濺。
日常維護:
廢液瓶每日清理,防止堵塞排液口;
吸盤更換:六角扳手逆時針卸下舊吸盤,新吸盤槽口對齊螺絲安裝。
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