在半導(dǎo)體材料與光電器件（如太陽能電池、LED、光電探測器）的研發(fā)與測試中，高效、精準(zhǔn)且靈活的光電性能表征至關(guān)重要。

天恒科儀光電耦合測量系統(tǒng)，采用高度集成化設(shè)計(jì)，將精密電學(xué)測量與靈活光學(xué)激勵能力融合于單一平臺，提供高性價(jià)比的一站式解決方案。

核心優(yōu)勢與設(shè)計(jì)亮點(diǎn)

多源激勵，全譜覆蓋：

支持紫外 (200nm) 至紅外 (2500nm) 寬光譜激勵。

光源類型多樣：氙燈復(fù)合光源、激光器、LED等可選。

采用三光柵單色儀結(jié)合消二次色散設(shè)計(jì)，確保輸出單色光純度高，滿足嚴(yán)苛測試需求。

光路智能，尺寸可控：

提供聚焦照明（微區(qū)分析）與均勻照明（大面積掃描）兩種模式。

光斑尺寸可在 1μm 至 5mm 范圍內(nèi)精確連續(xù)調(diào)節(jié)，適應(yīng)多樣化測試場景。

模塊擴(kuò)展，功能強(qiáng)大：

基礎(chǔ)平臺支持選配光致發(fā)光光譜 (PL)、電致發(fā)光光譜 (EL) 等高級測試模塊，輕松應(yīng)對前沿研究挑戰(zhàn)。

詳細(xì)參數(shù)

精密探針臺：

配備 3.5 μm 分辨率 光學(xué)顯微鏡。

集成 2000萬像素 工業(yè)相機(jī)，支持 1X-5X 數(shù)碼變焦，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)觀測與定位。

兼容性： 六英寸晶圓或獨(dú)立芯片。

定位精度： 高精度四探針系統(tǒng)，定位底座分辨率達(dá) 0.7 μm。

電學(xué)接口： 雙通道低噪聲探測接口，支持旋轉(zhuǎn)測量。

光學(xué)觀測：

探針選擇： 提供多種規(guī)格探針 (針尖: 10μm, 20μm, 50μm, 100μm)。

智能可調(diào)光源：

單色光輸出范圍：250nm - 1700nm。

輸出帶寬 (帶寬)：連續(xù)可調(diào)。

集成六位自動濾光片輪，適用 200nm - 1800nm。

光源核心： 150W 氙燈光源，覆蓋 200nm - 2500nm。

分光核心： 三光柵單色儀，焦距 300mm，采用非對稱消像差光路設(shè)計(jì)，有效抑制雜散光。

輸出特性：

智能控制： 軟件全自動控制波長掃描、濾光片切換、步長、延遲時(shí)間等。

光路配置： 支持定制光纖輸出，實(shí)現(xiàn)光路靈活配置。

高性能數(shù)字源表 (SMU)：

電流分辨率：0.1 fA (飛安培)。

電壓分辨率：1 μV (微伏)。

電壓：±200mV ~ ±200V。

電流：±1μA ~ ±1A。

功率：20W。

寬范圍輸出/測量：

超高精度：

工作模式： 四象限工作，可無縫切換源 (Source) 與 (Sink) 模式。

豐富功能： 內(nèi)置電壓比較器，數(shù)字I/O，支持觸發(fā)掃描。

通訊接口： GPIB, RS-232, USB, LAN。

多功能測試軟件：

配置輸出通道、測量通道。

設(shè)置掃描模式 (電壓、電流、光波長、功率、時(shí)間等)。

自定義步長、延遲時(shí)間、循環(huán)次數(shù)。

集中控制： 統(tǒng)一界面控制光源、源表 (SMU)、運(yùn)動平臺等所有設(shè)備。

應(yīng)用領(lǐng)域

光電器件表征： 

太陽能電池（IV, QE/IPCE, EL）、LED/激光器（LIV, 光譜, 近場）、光電探測器（響應(yīng)度, 暗電流, 噪聲）。

半導(dǎo)體材料分析： 

光致發(fā)光光譜（PL）、電致發(fā)光光譜（EL）測試，用于材料能帶結(jié)構(gòu)、缺陷態(tài)、載流子動力學(xué)等研究。

微納器件測試：

 對MEMS、傳感器、小型化光電器件進(jìn)行精密的光電性能與可靠性測試。

工藝監(jiān)控與質(zhì)量控制：

在半導(dǎo)體和光電子器件生產(chǎn)線上進(jìn)行快速、自動化的參數(shù)測試與分選