以下是我司為大家分享的派克比例閥910-0000系列（VSO 系列微型比例閥）的故障診斷流程圖，按 “電氣系統(tǒng)→機(jī)械系統(tǒng)→流體控制→系統(tǒng)級(jí)故障” 邏輯分層，包含關(guān)鍵檢測(cè)點(diǎn)和決策路徑：

派克比例閥910-0000系列故障診斷流程圖

（注：→表示流程走向，?表示檢測(cè)步驟，◇表示判斷節(jié)點(diǎn)，■表示解決方案）

初始檢查

? 1. 確認(rèn)設(shè)備狀態(tài)：斷電卸壓（關(guān)閉 5.5VDC 電源，釋放上下游壓力至 0psi）

? 2. 外觀檢查：閥體是否破損、引線是否斷裂、接口是否松動(dòng)

◇ 2.1 外觀異常？

是→ ■ 修復(fù)破損（更換引線 / 緊固接口）→ 重新測(cè)試

否→ 進(jìn)入 “電氣系統(tǒng)檢測(cè)”

一、電氣系統(tǒng)檢測(cè)（無(wú)響應(yīng) / 信號(hào)異常）

? 3. 測(cè)量線圈電阻：用萬(wàn)用表測(cè)線圈阻值（參考值 50-200Ω，具體以手冊(cè)為準(zhǔn)）

◇ 3.1 阻值偏離 ±10%？

是→ ■ 更換比例電磁鐵線圈→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 4

? 4. 檢測(cè)輸入信號(hào)：用示波器測(cè) 18 英寸引線輸入端（0-5VDC）

◇ 4.1 信號(hào)無(wú)輸入 / 雜波峰峰值＞0.2V？

是→ ■ 修復(fù)信號(hào)源（更換屏蔽線 / 遠(yuǎn)離干擾源）→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 5

? 5. 測(cè)試放大器輸出：用信號(hào)發(fā)生器輸入 2.5V，測(cè)放大器輸出電流（正常與輸入線性對(duì)應(yīng)）

◇ 5.1 輸出非線性 / 無(wú)電流？

是→ ■ 更換內(nèi)置放大器→ 重新測(cè)試

否→ 電氣系統(tǒng)正常→ 進(jìn)入 “機(jī)械系統(tǒng)檢測(cè)”

二、機(jī)械系統(tǒng)檢測(cè)（卡滯 / 泄漏）

? 6. 閥芯動(dòng)作測(cè)試：斷電后手動(dòng)推動(dòng)閥芯（阻力應(yīng)＜0.5N，無(wú)卡頓）

◇ 6.1 卡滯 / 阻力過(guò)大？

是→ ■ 拆解清洗（無(wú)水乙醇超聲清洗 30 分鐘，疏通 0.25mm 孔口）→ 步驟 6.2

否→ 步驟 7

◇ 6.2 清洗后仍卡滯？

是→ ■ 檢查閥芯磨損（8000 目砂紙打磨 / 成對(duì)更換閥芯 - 閥座總成）→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 7

? 7. 泄漏檢測(cè)：入口通 150psi 氮?dú)?，用氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)泄漏率

◇ 7.1 泄漏率＞0.016cm3/min？

是→ ■ 檢查密封件（更換 FFKM 密封圈，用專用工具安裝）→ 步驟 7.2

否→ 機(jī)械系統(tǒng)正?！?進(jìn)入 “流體控制檢測(cè)”

◇ 7.2 更換密封件后仍泄漏？

是→ ■ 檢測(cè)閥體裂紋（返廠激光修復(fù) / 更換閥體）→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 8

三、流體控制檢測(cè)（流量精度 / 響應(yīng)異常）

? 8. 流量線性度測(cè)試：

輸入 0-5V 線性信號(hào)，用流量計(jì)記錄實(shí)際流量（理論值 0-5.5SLPM）

計(jì)算線性誤差（允許 ±5%）

◇ 8.1 誤差＞±5%？

是→ ■ 軟件校準(zhǔn)（用 ProPxD 重新標(biāo)定零點(diǎn) / 增益）→ 步驟 8.2

否→ 步驟 9

◇ 8.2 校準(zhǔn)后仍超差？

是→ ■ 檢查閥口磨損（更換閥芯 - 閥座總成）→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 9

? 9. 響應(yīng)時(shí)間測(cè)試：記錄信號(hào)變化至流量穩(wěn)定的時(shí)間（正常＜50ms）

◇ 9.1 響應(yīng)時(shí)間＞100ms？

是→ ■ 檢查氣源壓力（需穩(wěn)定在 0-150psi，加裝儲(chǔ)氣罐）→ 重新測(cè)試

否→ 流體控制正?！?進(jìn)入 “系統(tǒng)級(jí)故障檢測(cè)”

四、系統(tǒng)級(jí)故障檢測(cè)（溫度 / 振動(dòng)異常）

? 10. 溫度檢測(cè)：用紅外測(cè)溫儀測(cè)閥體表面溫度（正常＜55℃）

◇ 10.1 溫度＞60℃？

是→ ■ 檢查內(nèi)部泄漏（更換閥芯 - 閥座）/ 加裝散熱片→ 重新測(cè)試

否→ 步驟 11

? 11. 振動(dòng)檢測(cè)：觀察閥體是否與管路共振（用振動(dòng)儀測(cè)振幅＞0.1mm）

◇ 11.1 共振明顯？

是→ ■ 用防震墊固定閥體 / 調(diào)整管路布局→ 重新測(cè)試

否→ 系統(tǒng)級(jí)正常

最終判斷

? 12. 所有測(cè)試通過(guò)→ 比例閥正常運(yùn)行

? 13. 仍有故障→ 聯(lián)系派克技術(shù)支持（電話：+86-21-28995000）進(jìn)行深度檢測(cè)

備注：

帶★步驟需在無(wú)塵工作臺(tái)操作，避免介質(zhì)污染；

更換精密部件（如閥芯 - 閥座）后必須重新校準(zhǔn)流量曲線；

醫(yī)療 / 分析場(chǎng)景需額外檢測(cè)介質(zhì)兼容性（300 系列不銹鋼 / FFKM 耐腐蝕性）。