超聲波換能器在聲納成像系統(tǒng)中起著重要作用，因為它有助于實現(xiàn)電信號和聲信號的相互轉換。對于聲納成像設備，超聲換能器通常由塊壓電陶瓷制成，并在厚度振動模式下工作。隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術的快速發(fā)展，微超聲換能器（MUT）應運而生。由于MUT具有小尺寸、批量模式生產(chǎn)和CMOS工藝兼容性，并且可以很容易地與先進的封裝技術進行陣列，許多研究人員已經(jīng)探索了其替代傳統(tǒng)超聲換能器的應用。與PZT相比，AlN不含有毒鉛，并且與CMOS技術兼容。雖然它的壓電系數(shù)比PZT小一個數(shù)量級，但其介電常數(shù)小兩個數(shù)量級，理論上，AlNPMUT的接收靈敏度比PZTPMUT高一個數(shù)量級。因此，AlNPMUT具有替代聲納成像接收器陣列中的體傳感器的良好潛力。

　　安泰電子的ATA-2000系列高壓放大器基于采用AB類放大電路，具有低失真、高穩(wěn)定的特點。其最大帶寬可達1MHz，最大輸出電壓可達1600Vpp，廣泛應用于各類壓電材料測試及性能評估。

　　實驗名稱：基于氮化鋁（AlN）的壓電微機械超聲換能器用于聲納成像應用研究

　　實驗原理：氮化鋁（AlN）作為壓電材料，具有寬帶隙、低介電常數(shù)、高熱導率、優(yōu)異的壓電特性以及良好的化學穩(wěn)定性，是制造PMUT的理想選擇。PMUT的工作原理基于壓電效應，即當壓電材料受到外力作用時，會產(chǎn)生電荷分布的變化，從而發(fā)射超聲波；反之，當壓電材料受到超聲波作用時，會產(chǎn)生機械振動，進而轉化為電信號。

　　實驗框圖：

　　實驗過程：為了測量PMUT的水下接收靈敏度，使用了來自研究機構的商用標準水聽器。同時，將PMUT*用作發(fā)射器，將商用標準水聲換能器PMUT作為接收器放置在距離發(fā)射器約3.6cm的地方，依次接收超聲。信號產(chǎn)生輸出一個1Vpp、5個循環(huán)的脈沖正弦波信號，該信號被功率放大器(ATA-2021BAigtek)放大60倍，以激勵PMUT發(fā)射器發(fā)射聲波。波通過水介質傳播，并被PMUT接收器和水聽器表面捕獲，經(jīng)過前置放大器放大后在示波器上讀取和分析水聽器和PMUT接收器電壓的峰峰值。

圖：ATA-2021B高壓放大器指標參數(shù)

　　應用方向：三維成像與定位、生物醫(yī)學成像、非接觸式測量與傳感、高分辨率成像、水下探測

　　應用場景：壓電微機械超聲換能器（PMUT)、氮化鋁（AlN）、聲納成像、三維成像、水下探測、陣列技術、高頻超聲

　　產(chǎn)品推薦：ATA-2000系列高壓放大器　　

圖：ATA-2000系列高壓放大器指標參數(shù)

　　西安安泰電子是專業(yè)從事功率放大器、高壓放大器、功率信號源、前置微小信號放大器、高精度電壓源、高精度電流源等電子測量儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)，為用戶提供具有競爭力的測試方案。Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線，且具有相當規(guī)模的儀器設備供應商，樣機都支持免費試用。