首先要了解成分參數(shù)檢測，必須了解一些定義。成分是指混合氣體或液體中的各個組分，成分檢測的目的是要確定某一或全部組分在混合氣體（液體）中所占的百分量。在工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)實驗中，需要檢測的成分參數(shù)有很多，例如，在鍋爐燃燒系統(tǒng)中，為了確定爐子燃燒狀況，計算燃燒效率，要求知道煙氣中O₂、CO、CO₂等氣體的含量。工業(yè)上通常使用的氧化鋯氧量分析儀俗稱氧化鋯氧分析儀，已經(jīng)在許多企業(yè)都在使用。

  成分參數(shù)的檢測方法主要有化學(xué)式、物理式和物理化學(xué)式等。其中化學(xué)式和物理式檢測方法是利用被測樣品中待測組分的某化學(xué)或物理性質(zhì)比其他組分有較大差別這一事實工作的。例如，氫氣的熱導(dǎo)率比其他氣體大得多，由此構(gòu)成的熱導(dǎo)式檢測方法可檢測混合氣體中的氫含量；氧氣的磁化率是一般氣體的幾十倍，利用這一性質(zhì)構(gòu)成的熱磁式檢測方法可檢測氧氣的含量。物理化學(xué)檢測方法主要依據(jù)待測組分在特定介質(zhì)中表現(xiàn)出來的物理化學(xué)性質(zhì)的不同來分析待測組分的含量。例如，利用氧化鋯電解質(zhì)構(gòu)成濃度差電池測量氧含量；利用色譜柱可將被測樣品中各組分進行分離。

  近年來，隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了一些半導(dǎo)體氣敏檢測元件，它們主要是由金屬氧化物半導(dǎo)體材料制成的。不同的氧化物材料對氣體的敏感作用是不一樣的，因此可用來檢測不同的氣體組分。目前，半導(dǎo)體氣敏檢測元件可檢測H_2、CO、H₂S、NO₂以及其他還原氣體。

  現(xiàn)在社會廣泛的關(guān)注環(huán)境，國家在一些脫硫、脫硝設(shè)備上，一些鍋爐煙道中，都安裝了氣體監(jiān)測儀，有效的監(jiān)測了反應(yīng)爐內(nèi)燃燒情況，控制燃燒進度，減少廢氣的排放，為企業(yè)減少了能損耗，為環(huán)境降低污染。