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精密測(cè)量?jī)x器輪廓測(cè)量?jī)x的小常識(shí)
■跟蹤角度
下降 上升
相對(duì)探針的進(jìn)給方向，探針可以按照測(cè)量物的形狀上升或下 降的極限角度叫做跟蹤角度。探針頂端角度為 12°的切面探 針 （圖） 時(shí)，上升角度 77°，下降角度 87°，如果是圓錐形探針
（30°圓錐） 的話，極限傾斜度會(huì)變得緩和。表面上看雖然是 77°， 但是，受上行斜面表面粗糙度的影響，會(huì)部分存在 77°以上 的斜面，測(cè)力也會(huì)受到影響。
■探針半徑補(bǔ)正
根據(jù)探針的頂端半徑 （0.025mm），記錄圖形會(huì)成為在測(cè)量物表 面上滾動(dòng)的球體的中心軌跡。通過(guò)對(duì)這一探針的頂端半徑進(jìn) 行數(shù)據(jù)處理上的補(bǔ)正，可以得到的測(cè)量值和形狀記錄。
探針
記錄圖形
測(cè)量物的輪廓
r： 探針半徑
M：測(cè)量倍率
用記錄計(jì)從模板和刻度上讀取輪廓形狀時(shí)，需要根據(jù)測(cè)量倍 率預(yù)先補(bǔ)正測(cè)頭半徑值。
■圓弧變形
測(cè)頭做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)在記錄圖形的 X 軸方向上出現(xiàn)變形誤 差。補(bǔ)正圓弧變形的手段有
①機(jī)械補(bǔ)正方法
②電子補(bǔ)正方法
■精度
與模擬記錄計(jì)的全刻度作比較，多用 ±% 來(lái)表示。
（例） 倍率精度 （精度） Z 軸 ±0.25% ／全刻度
A3 模擬記錄
（250mm 是 A3 復(fù)印紙的縱向長(zhǎng)度）
假 設(shè) 記 錄 紙 上 誤 差 為 ±0.625mm， 測(cè) 量 倍 率 為 10 倍， 那 么， 讀取值則為 0.625mm/10。
※如果是用數(shù)據(jù)處理裝置進(jìn)行解析，并且 Z 軸檢測(cè)裝置上內(nèi)
置光柵尺的機(jī)型 （CV-H, CV 系列），那么倍率精度的顯示就不是 百分比，而是光柵尺 （X 軸、Z 軸） 各自的指示精度。
■安全裝置 由于輪廓形狀的斜面角度大或者有毛刺存在，探針頂端出現(xiàn) 超負(fù)荷時(shí)，為了防止探針損傷，可以自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)，并發(fā)出 蜂鳴警報(bào)。一般按進(jìn)給方向 （X 軸方向） 的負(fù)荷和上下方向 （Z 軸方向） 的負(fù)荷分別裝備。
■圓弧運(yùn)動(dòng)、直線運(yùn)動(dòng) 這是探針上下動(dòng)作時(shí)，測(cè)頭劃出的軌跡，有圓弧和直線兩種。 做直線運(yùn)動(dòng)時(shí)，機(jī)械構(gòu)造復(fù)雜，做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí)，探針的上下 移動(dòng)量較大，會(huì)由于圓弧變形 （ ） 而導(dǎo)致記錄圖形出現(xiàn)誤差。
（參照左下圖）
■ Z 軸檢測(cè)方式
X 軸驅(qū)動(dòng)檢測(cè)一般使用數(shù)字光柵尺進(jìn)行檢測(cè)。Z 軸檢測(cè)方式有 模擬方式 （差動(dòng)變壓器） 和數(shù)字光柵尺方式兩種。
模 擬 方 式 中，Z 軸 分 辨 率 會(huì) 隨 測(cè) 量 倍 率 和 測(cè) 量 范 圍 而 變 化。 數(shù)字光柵尺方式隨光柵尺的分辨率。一般來(lái)說(shuō)，數(shù)字光柵尺
方式精度較高。
探針
測(cè)量臂
支點(diǎn)
圓弧變形
③有通過(guò)軟件演算來(lái)補(bǔ)正的方法。在對(duì)上下方向上移動(dòng)量較大
的測(cè)量物進(jìn)行高精度測(cè)量時(shí)，需要補(bǔ)正圓弧變形。
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