超聲波流量計主要應(yīng)用在半導體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理。它是一種用于檢測半導體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進行收發(fā)信號，測定各自傳播時間；順流的超聲波會很快到達，相反逆向的超聲波則會較晚達到，根據(jù)傳播時間算出流速，并通過流速算出流量。

　　超聲波流量計要定期維護
較之其他流量計而言，超聲波流量計的維護量是比較小的。如對于外貼換能器超聲波流量計，安裝以后無水壓損失，無潛在漏水，只需定期檢查換能器是否松動，與管道之間的粘合劑是否良好即可;插入式超聲波流量計，要定期清理探頭上沉積的雜質(zhì)、水垢等有無漏水現(xiàn)象;一體式超聲波流量計，要檢查流量計與管道之間的法蘭鏈接是否良好，并考慮現(xiàn)場溫度和濕度對其電子部件的影響，等待。定期維護可以確保超聲波流量計的長期穩(wěn)定運行?，F(xiàn)在就來實行吧，儀器儀表的維護保養(yǎng)時一個長期的過程，其他儀器儀表也是同理。

　　超聲波流量計要及時校驗
對于現(xiàn)場安裝固定式超聲波流量計數(shù)量大、范圍廣的用戶來講，可以配備一臺同類型的便攜式超聲波流量計，用于核?，F(xiàn)場儀表的情況。一是堅持一裝一校，即對每一臺新裝超聲波流量計在安裝調(diào)試時進行核校，確保選位好、安裝好、測量準;二是對在線運行的超聲波流量計發(fā)生流量突變時，要利用便攜式超聲波流量計進行及時核校，查清流量突變的原因，弄清楚是儀表發(fā)生故障還是流量確實發(fā)生了變化。這樣就可以監(jiān)測流量計的使用狀況，進而可以檢查到問題，再進行維護。

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