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| 對大多數(shù)真空系統(tǒng)來說，真空閥門應具有以下廣泛性的性能。 1、防銹性 在與真空環(huán)境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。 2、 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa 相對較寬的壓力范圍，會使產(chǎn)品的使用面更廣泛，而且閥板的密封是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。 3、低漏率 在高真空領域內(nèi)漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統(tǒng)的效率，對降低生產(chǎn)成本非常有效。 4、 起動時，震動低，對系統(tǒng)沖擊小。 5、 結構緊湊，重量輕 6、 明顯的閥位指示 7、可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于編程自動化控制。 8、 高流導 9、 采用波紋管作為位移的動密封 無動態(tài)漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，可靠性更高并可以避免產(chǎn)生顆粒污染。 10，真空部分盡量避免采用真空脂。 11，盡量減少真空部件內(nèi)的無用空間，以保證真空獲得的時間更少。 12，盡可能的減少功耗 |
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