等離子體發(fā)射光譜研究是了解放電條件下氣體狀態(tài)的有效手段和用于無干擾診斷等離子體狀態(tài)參數(shù)的方法。它為研究不同實驗參數(shù)下的等離子體行為提供了一種很好的方法。通過采集射頻磁控濺射過程中等離子體發(fā)射光譜，可以計算出電子密度和電子溫度，并且能夠分析濺射功率、工作壓強(qiáng)等實驗參數(shù)對等離子體狀態(tài)的影響。

荷蘭Avantes公司的AvaSpec-ULS2048高分辨率、多通道光纖光譜儀，波長范圍200-1100nm，光譜分辨率（FWHM）0.1nm。下圖是氮分子（N₂）的發(fā)射光譜數(shù)據(jù)。

                                焊接等離子體光譜診斷

隨著現(xiàn)代焊接技術(shù)的發(fā)展，焊接機(jī)器人等化生產(chǎn)手段得到廣泛地應(yīng)用，因此對焊接質(zhì)量檢測與控制越來越重要。焊接電弧光譜由于其自身信息量大、信噪比高、介入性小、測控精度高等特點，在一些場合得到成功應(yīng)用，如利用電弧弧光信息測控TIG焊電弧的弧長，精度可達(dá)到0.2mm，與傳統(tǒng)的弧壓測控方法相比具有明顯的優(yōu)勢。電弧光譜的應(yīng)用領(lǐng)域還包括：電弧防護(hù)、光譜法測定電弧的溫度場、氣體成分及濃度的測定與控制等。上述領(lǐng)域研究與電弧光譜自身輻射特性具有密切，而焊接參數(shù)是焊接過程中影響電弧光譜的主要因素之一，因此對于不同焊接參數(shù)下電弧光譜輻射及其變化特點的研究非常重要。

焊接光譜信息的采集和分析系統(tǒng)使用荷蘭Avantes公司的AvaSpec-ULS3648高分辨率、多通道（多10個通道）光纖光譜儀，波長范圍200-1100nm，光譜分辨率（FWHM）高可達(dá)0.05nm，光譜采樣間隔0.02nm。1分多光纖束了光譜信號采集在時間和空間上的同步性。