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日本ULVAC CFB-1600F風(fēng)冷復(fù)合分子泵技術(shù)資料
日本ULVAC CFB-1600F風(fēng)冷復(fù)合分子泵 一、產(chǎn)品簡介
CFB-F系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵的性能與復(fù)合分子泵一樣，適用于沒有水源且環(huán)境溫度不高的地方，或經(jīng)常移動(dòng)的排氣機(jī)組等。
日本ULVAC CFB-1600F風(fēng)冷復(fù)合分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-1600F風(fēng)冷復(fù)合分子泵 三、主要性能指標(biāo)
型號 | CFB-1600F | ||
訂貨號 | 3167 | 3168 | |
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | — | KF50 | |
抽氣速率 | L/s | 1600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 24000 | |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | ＜6 | |
振動(dòng)值 | μm | ≤0.15 | |
前極泵 | L/s | 15 | |
冷卻方式 | — | 風(fēng)冷（環(huán)境溫度<37℃） | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
加熱器功率 | W | <700 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～39 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格 | CFB-1600F | |
高真空法蘭 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф296 | Ф296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 467 | 467 |
H2 | 70 | 70 |
H3 | 185.5 | 185.5 |
H4 | 153 | 153 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |
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