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日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)資料

來(lái)源:上海民儀電子有限公司   2015年12月28日 15:07  

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵 一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        

  • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂潤(rùn)滑分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-650Z

進(jìn)氣口法蘭

LF160

CF150

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

650

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

3×10-6

2×10-7  

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

振動(dòng)值

μm

≤0.1

啟動(dòng)時(shí)間

min

<5

使用軸承

脂潤(rùn)滑陶瓷軸承

前極泵

L/s

4-8

冷卻方式

水冷

冷卻水溫度

≤25

環(huán)境溫度

<40

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

任意角度

重量

kg

~26

 


四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

 CFB-650Z安裝尺寸

型號(hào)規(guī)格

CFB-650Z

高真空法蘭

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

212

212

L1

112

112

H1

308

308

H2

248.5

248.5

H3

92

92

H4

224.5

224.5

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