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日本ULVAC CFB-1200F風(fēng)冷復(fù)合分子泵技術(shù)資料
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CFB-F系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵的性能與復(fù)合分子泵一樣，適用于沒(méi)有水源且環(huán)境溫度不高的地方，或經(jīng)常移動(dòng)的排氣機(jī)組等。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng)；由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
三、主要性能指標(biāo)
型號(hào) | CFB-1200F | ||
訂貨號(hào) | 3165 | 3166 | |
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF200 | CF200 |
排氣口法蘭 | — | KF40 | |
抽氣速率 | L/s | 1200 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 24000 | |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | ＜5 | |
振動(dòng)值 | μm | ≤0.1 | |
前極泵 | L/s | 8-15 | |
冷卻方式 | — | （環(huán)境溫度<37℃） | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
加熱器功率 | W | <600 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～35 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格 | CFB-1200F | |
高真空法蘭 | LF200 | CF200 |
D1 | Ф240 | Ф253 |
D2 | Ф267 | Ф267 |
D3 | □167.6 | □167.6 |
L1 | 142 | 142 |
L2 | 152 | 152 |
H1 | 467 | 467 |
H2 | 70 | 70 |
H3 | 178.5 | 178.5 |
H4 | 151 | 151 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |
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