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日本ULVAC CFB-2000Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)資料
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無(wú)油的高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車(chē)等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
- 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
- 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。
三、主要性能指標(biāo)
型號(hào) | CFB-2000Z | ||
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | — | KF50 | |
抽氣速率 | L/s | 2000 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 24000 | |
振動(dòng)值 | μm | ≤0.1 | |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | ＜6 | |
使用軸承 | — | 脂潤(rùn)滑陶瓷軸承 | |
前極泵 | L/s | 15 | |
冷卻方式 | — | 水冷（風(fēng)冷） | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤25 | |
環(huán)境溫度 | ℃ | <40 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
安裝方向 | — | 任意角度 | |
重量 | kg | ～30 | |
三、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線
CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線
CFB-2000Z安裝尺寸
型號(hào)規(guī)格 | CFB-2000Z | |
高真空法蘭 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф295 | Ф295 |
D3 | 274 | 274 |
L1 | 114 | 114 |
H1 | 317 | 317 |
H2 | 262 | 262 |
H3 | 97.5 | 97.5 |
H4 | 282 | 282 |
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