hydac壓力傳感器壓阻式結構EDS344
賀德克hydac壓力傳感器壓阻式壓力傳感器結構
賀德克hydac壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,賀德克hydac壓力傳感器并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線。賀德克hydac壓力傳感器壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,賀德克hydac壓力傳感器不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。賀德克hydac壓力傳感器硅膜片一般設計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。賀德克hydac壓力傳感器在圓形硅膜片(N型)定域擴散4條P雜質電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應力區(qū),另兩條處于拉應力區(qū),相對于膜片中心對稱。賀德克hydac壓力傳感器硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條 ,賀德克hydac壓力傳感器兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。
hydac壓力傳感器壓阻式結構EDS344
賀德克hydac壓力傳感器的優(yōu)點是:
① 賀德克hydac壓力傳感器頻率響應高(例如有的產品固有頻率達1.5兆赫以上),適于動態(tài)測量; ② 賀德克hydac壓力傳感器體積?。ɡ缬械漠a品外徑可達0.25毫米),賀德克hydac壓力傳感器適于微型化; ③ 賀德克hydac壓力傳感器精度高,可達0.1~0.01%;
④ 賀德克hydac壓力傳感器靈敏高,賀德克hydac壓力傳感器比金屬應變計高出很多倍,賀德克hydac壓力傳感器有些應用場合可不加放大器; ⑤ 賀德克hydac壓力傳感器無活動部件,賀德克hydac壓力傳感器可靠性高,賀德克hydac壓力傳感器能工作于振動、沖擊、腐蝕、強干擾等惡劣環(huán)境。其缺點是溫度影響較大(有時需進行溫度補償)、賀德克hydac壓力傳感器工藝較復雜和造價高等。
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賀德克hydac壓力傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、賀德克hydac壓力傳感器真空測量、賀德克hydac壓力傳感器監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量槍炮膛內壓力、賀德克hydac壓力傳感器發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,賀德克hydac壓力傳感器在油井壓力測量、賀德克hydac壓力傳感器隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式傳感器。
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