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賀德克hydac壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理HDA4745

來源:上海申思特自動(dòng)化設(shè)備有限公司   2016年04月13日 18:18  

賀德克hydac壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理HDA4745
賀德克hydac壓力傳感器的結(jié)構(gòu),賀德克hydac壓力傳感器硅片上形成有膜片,賀德克hydac壓力傳感器膜片上埋入了檢測(cè)壓力的測(cè)量電阻,賀德克hydac壓力傳感器底座上設(shè)置了導(dǎo)壓管及作為輸入輸出端子的引線端子,賀德克hydac壓力傳感器在硅片與底座之間設(shè)有用硅單晶制作的硅杯,賀德克hydac壓力傳感器其作用是緩和與吸收底座傳入的熱應(yīng)力,賀德克hydac壓力傳感器蓋子與底座等形成標(biāo)準(zhǔn)壓力腔并對(duì)硅片及內(nèi)部組成件起機(jī)械保護(hù)作用。
賀德克hydac壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理HDA4745
賀德克hydac壓力傳感器工作原理,賀德克hydac壓力傳感器半導(dǎo)體壓力傳感器是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的,其工作原理是將壓力變換成電信號(hào),即:賀德克hydac壓力傳感器壓力加到膜片上時(shí),賀德克hydac壓力傳感器膜片上產(chǎn)生應(yīng)力,賀德克hydac壓力傳感器隨膜片應(yīng)力的狀況測(cè)量電阻的阻值發(fā)生變化,賀德克hydac壓力傳感器將一定的電壓或電流輸入到惠斯頓電橋的輸入端時(shí),賀德克hydac壓力傳感器電阻值的平衡被打破,賀德克hydac壓力傳感器在電橋的輸出端就可以得到電壓或電流的輸出變化值。
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賀德克hydac壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理HDA4745
賀德克hydac壓力傳感器檢測(cè)原理,賀德克hydac壓力傳感器壓力檢測(cè)部位的工作原理是利用了半導(dǎo)體壓電電阻效應(yīng),賀德克hydac壓力傳感器在硅片表面的特定方向上,賀德克hydac壓力傳感器利用離子注入法等形成四個(gè)應(yīng)變片電阻,賀德克hydac壓力傳感器在其內(nèi)部利用導(dǎo)向蝕刻法形成膜片部分,賀德克hydac壓力傳感器在硅片的膜片部分的表面和里面產(chǎn)生壓力的場(chǎng)合下,賀德克hydac壓力傳感器硅片內(nèi)所產(chǎn)生的壓縮,賀德克hydac壓力傳感器拉伸張力,賀德克hydac壓力傳感器使膜片處的測(cè)量電阻的阻值發(fā)生變化。
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