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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x

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    2025年06月27日
關(guān)鍵詞
光學(xué)膜厚儀,自動(dòng)Mapping膜厚儀,膜厚測(cè)量?jī)x,KLA,Filmetrics
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資料簡(jiǎn)介

Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x依靠光譜測(cè)量系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái),以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。



Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

  • 自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果;

  • 可測(cè)樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量;

  • 測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;


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