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集團的核心業(yè)務(wù)是光刻解決方案和晶圓片鍵合。光刻部門主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)高精度光刻設(shè)備，其重點業(yè)務(wù)是光刻機、旋涂機和噴膠機。鍵合部門專注于生產(chǎn)大規(guī)模封裝市場用鍵合機，同時也提供手動設(shè)備。光掩模設(shè)備部門提供一系列用于光掩模和壓印掩模工藝的設(shè)備及解決方案。 此外還提供一些專用配件，如納米壓印光刻組件、光學(xué)透鏡等。