FPNAN-電子束蝕刻機(jī),納米級(jí)刻蝕機(jī)
2024-12-20
 |
- 產(chǎn) 地：
- www.felles.cn/icprie.html
- 所在地區(qū)：
- 上海上海市
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)是納米級(jí)刻蝕機(jī)，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)特點(diǎn)
*化設(shè)計(jì)和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。
提高性能,促進(jìn)批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場(chǎng)的縫合/重疊誤差<25nm
自動(dòng)加載5卡盤氣鎖系統(tǒng)
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)是納米級(jí)刻蝕機(jī)，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)特點(diǎn)
*化設(shè)計(jì)和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。
提高性能,促進(jìn)批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場(chǎng)的縫合/重疊誤差<25nm
自動(dòng)加載5卡盤氣鎖系統(tǒng)
免責(zé)聲明：以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
孚光精儀（中國）有限公司
相關(guān)供應(yīng)
采購中心