| 技術(shù)參數(shù)： | |
| 放電電流 | 0-30mA 連續(xù)可調(diào) |
| 電源功率 | Max. 50W |
| 處理平臺 | Φ75mm |
| 預(yù)處理時間 | 1-999 秒 |
| 處理時間 | 1-9999 秒 |
| 樣品室 | Φ130×130mm |
| 進(jìn)氣接口 | 2 個φ4 快擰接口 |
| 真空測量 | 皮拉尼真空規(guī) |
| 極限真空度 | 1Pa |
| 工作真空 | 20-100Pa |
| 人機(jī)界面 | 5 英寸彩色觸摸式液晶屏 |
| 外觀尺寸 | 424×271×255mm |
| 軟件保護(hù) | 真空保護(hù)、過流保護(hù)等 |
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北京格微儀器有限公司
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