X射線熒光鍍層厚度測量儀規(guī)格參數(shù)：
FT9500產(chǎn)品規(guī)格
可測量元素：原子序數(shù)13(Al)～83(Bi)
X射線聚光：聚光方式
X射線源：管電壓：50kV 

                管電流：1mA
檢測器：Vortex®檢測器(無需液氮)
分析范圍：Φ0.1mm、Φ5mm
樣品觀察：彩色CCD攝像頭（附變焦功能）
濾波器：3種模式自動切換
樣品室：樣品平臺      240(W)×330(D)mm
                 移動量      X：220mm  Y：150mm   Z：150mm
                 載重量      10kg
重量：123kg(不含電腦)
X-ray Station：臺式電腦 19"LCD (OS; MS-Windows XP®)
膜厚測量軟件：薄膜FP法（zui多五層，各層十種元素）
                        檢量線法（單層、雙層、合金膜厚成分）
定量分析功能：塊體FP法
統(tǒng)計處理功能：MS-EXCEL®
報告制作：MS-WORD®
安裝環(huán)境：溫度：10℃～35℃(±)5℃
                 濕度：35%～80%
使用電源：接地三頭插座 AC100、15A
 

日立 FT9500 X射線熒光鍍層膜厚測量儀特點(diǎn)：

1. 薄膜?多層膜測量

日立 FT9500 X射線熒光鍍層厚度測量儀通過采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。
同時，也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測量。

2. 異物分析

通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。

3. 數(shù)據(jù)編輯功能

配備了Microsoft® Excel和Microsoft® Word。在Microsoft® Excel上面配備了統(tǒng)計處理軟件，可以進(jìn)行測量數(shù)據(jù)、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計處理。 另外，通過Microsoft® Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。

4. 高強(qiáng)度照射

X射線熒光鍍層厚度測量儀通過高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。