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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>W-TZ4 維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制

W-TZ4 維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制

參考價(jià) 280000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京、天津、河北


      北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷(xiāo)售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用,同時(shí)減少相關(guān)進(jìn)口設(shè)備的*,并力爭(zhēng)創(chuàng)造外匯,打出中國(guó)創(chuàng)造的品牌!  


      我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分*單位和電力試驗(yàn)所、各級(jí)的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實(shí)驗(yàn)室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!


      您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營(yíng)目標(biāo)!
      技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠(chéng)信是我們一直遵循的經(jīng)營(yíng)理念!


      我們熱誠(chéng)歡迎國(guó)內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開(kāi)展各層面的合作,打造成真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。


ALD設(shè)備,PECVD設(shè)備

極限真空度 1Pa 充氣 3路質(zhì)量流量計(jì)
樣品臺(tái)直徑 4英寸 使用溫度 -140~300℃
探針數(shù)量 4個(gè)

維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制

高低溫真空可以很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè):

極低溫測(cè)試:

    因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試:

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越

特點(diǎn):

1、晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電

極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺(tái)針座位于腔體外部,

便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針

的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度

10 micron(有效行程和精度可選);

2、工作臺(tái)溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺(tái)溫度均勻

性5℃,常溫到-150℃冷卻時(shí)間:1小時(shí)40分鐘,常溫到400℃加熱時(shí)間:40分鐘;

3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機(jī)械泵);

4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試;

5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺(tái)、分子泵組、射頻部件等。

維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制





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