W-TZ4 維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制
參考價(jià) | ¥ 280000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) W-TZ4
- 產(chǎn)地 中國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/24 15:50:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 548
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極限真空度 | 1Pa | 充氣 | 3路質(zhì)量流量計(jì) |
---|---|---|---|
樣品臺(tái)直徑 | 4英寸 | 使用溫度 | -140~300℃ |
探針數(shù)量 | 4個(gè) |
維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制
高低溫真空可以很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè):
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試:
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越
特點(diǎn):
1、晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電
極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺(tái)針座位于腔體外部,
便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針
的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度
10 micron(有效行程和精度可選);
2、工作臺(tái)溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺(tái)溫度均勻
性5℃,常溫到-150℃冷卻時(shí)間:1小時(shí)40分鐘,常溫到400℃加熱時(shí)間:40分鐘;
3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機(jī)械泵);
4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試;
5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺(tái)、分子泵組、射頻部件等。
維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制