海博爾帶您了解無塵車間管理制度（五）

5．2 無塵車間潔凈度定期檢測制度/測量標準

　　5.2.1 為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對潔凈室內(nèi)的潔凈度進

　　行檢測。

　　5.2.2 檢測測試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器

　　5.2.3 檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區(qū)域進行一次檢測

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　　5.2.4 檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試

　　5.2.5 數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲存，并在每個季

　　度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各

　　部門。

　　5.2.6 各潔凈區(qū)域潔凈級別標準：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標準》要求執(zhí)行。

　　5.2.7 潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等

　　（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理維

　　護，如，空氣過濾器、空調(diào)機、局部凈化設(shè)備、冷凍機及水泵、純水設(shè)備、

　　配電設(shè)備、安全報警設(shè)施等）執(zhí)行威世半導(dǎo)體(西安)有限公司廠務(wù)部相關(guān)