粗糙度輪廓儀大幅提高的驅(qū)動(dòng)速度(X軸:80mm/s,Z2軸立柱:30mm/s)進(jìn)一步減少了總的測(cè)量時(shí)間。
為了更長(zhǎng)時(shí)間地保持直線度，三豐公司采用了抗老化且極耐磨的非常堅(jiān)固的陶瓷導(dǎo)軌；
驅(qū)動(dòng)器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高精度線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動(dòng)測(cè)量、對(duì)較難定位部件的重復(fù)測(cè)量的重復(fù)精度得以提高。
粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù):
X軸
測(cè)量范圍:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:80mm/s、外加手動(dòng)
測(cè)量速度:0.02-5mm/s
移動(dòng)方向:向前／向后
直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm *以X軸為水平方向上

指示精度(20°C時(shí)):±(0.8+0.01L)μm(SV-C3200S4,H4,W4) (SV-C4500S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(SV-C3200S8,H8,W8) (SV-C4500S8,H8,W8)  *L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾角范圍:±45°
Z2軸(立柱)
垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測(cè)方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:0-30mm/s、外加手動(dòng)
Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍:±30mm
分辨率:0.04μm(SV-C3200),0.02μm(SV-C4500)
檢測(cè)方法:圓弧光柵尺
指示精度(20°C時(shí)):±(1.6+I 2H I/100)μm(SV-C3200)
±(0.8+I 2H I/100)μm(SV-C4500) *H:基于水平位置的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形移動(dòng)
測(cè)針?lè)较?向上／向下
測(cè)力:30mN
跟蹤角度:向上:77°,向下:83°
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭，依表面粗糙度而定)測(cè)針針尖*半徑:25μm、硬質(zhì)合金*