LH1000雙頻激光干涉儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京鐳測科技有限公司-J-儀蘭
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2019/4/11 23:16:08
- 訪問次數(shù) 439
產(chǎn)品標簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品的特點：
LH1000雙頻激光干涉儀專為光刻機配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；
通過國家重大專項“*規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項目驗收。
LH1000雙頻激光干涉儀采用能直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
低非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。
光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計，方便搭建多軸測量系統(tǒng)；
精巧的測量信號光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；
標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。
采購中心
化工儀器網(wǎng)