產(chǎn)品功能
     ZLM800微位移測量激光干涉儀主要用于微位移部件的測量、角度變化量的監(jiān)測、移動平臺運動情況的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等，多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。

性能優(yōu)勢
l  ZLM800微位移測量激光干涉儀頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡光學鏡用于激光干涉儀領域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l          計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準確。
l          采樣頻率更快，高達1MHz，可在0.001Hz-1Ml        
l          信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。