Triton 40桌面型多功能等離子清洗設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域

表面清潔與活化

• 材料表面有機(jī)污染物的去處

• 去處納米級金屬氧化層

• 增強(qiáng)表面膠體流動性，消除涂層、塑封料的分層

• 提升表面能，實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

• 表面粗化與微蝕：消除表面應(yīng)力，使材料更易結(jié)合。

表面粗化及微刻蝕

• 納米級表面粗化，應(yīng)力釋放。

• 光刻膠去除

• 對多種材料的選擇性刻蝕

Triton 40桌面型多功能等離子清洗設(shè)備

設(shè)備特點(diǎn)

• 設(shè)計(jì)緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務(wù)端連接

• 可靠的腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保工藝腔體具備氣密性與耐用性

• 優(yōu)秀的進(jìn)氣、排氣設(shè)計(jì)，保證工藝過程的均勻性

• 支持多種電極形式與多4路工藝氣體，適用于處理各種產(chǎn)品并適應(yīng)多種工藝要求

• 直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實(shí)時(shí)觀察、控制工藝過程

• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性