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VTC-2RF 2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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    深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國(guó)家技術(shù)企業(yè),長(zhǎng)期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
    深圳科晶與美國(guó)MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測(cè)試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列
    •  材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測(cè)試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等);
    •  鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備;
    •  功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等);
    •  高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測(cè)試表征等);
   

公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對(duì)于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。


    深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國(guó)內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。


    本著“精誠(chéng)合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對(duì)外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試體驗(yàn),配備行業(yè)資深的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。

材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障。科晶團(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠(chéng)信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營(yíng)理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 電氣

VTC-2RF 2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),

系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、

真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。

性能指標(biāo)和基本配置
我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜image.png
主要參數(shù)

● 輸入電源:220V AC 50/60Hz
● 整機(jī)功率:800W(包括真空泵)
● 射頻電源最高使用功率:300W
● 靶頭數(shù)量:?jiǎn)蝹€(gè)2英寸磁控濺射靶頭
● 樣品臺(tái)加熱溫度:500℃

濺射腔體

● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD×150 mm ID×250 mm H
● 密封法蘭:直徑為165 mm,采用金屬制作,密封采用O形密封圈

射頻電源

● 該設(shè)備有兩種射頻電源可選分別為:(圖一、二)
● 300W自動(dòng)匹配射頻電源
● 100W的手動(dòng)匹配射頻電源
image.png          

圖1                  圖2
注意:
● 2英寸靶頭最大使用功率為300W
● 自動(dòng)射頻電源的最大功率為300W,但是受靶頭限制,最大功率只能使用100W
● 自動(dòng)匹配電源價(jià)格相對(duì)貴,但是操作非常方便,無需手動(dòng)調(diào)節(jié),可以節(jié)約時(shí)間
● 此設(shè)備支持多種DIY方案,購買前請(qǐng)務(wù)必與我公司銷售聯(lián)系,同時(shí)歡迎您帶料到科晶實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)

濺射頭&樣品臺(tái)

● 一個(gè)2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),其與濺射頭之間距離可調(diào)
● 樣品臺(tái)可加熱,加熱溫度室溫-500℃
● 安裝有一可手動(dòng)操作的擋板
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真空系統(tǒng)

● 安裝有KF25真空接口
● 數(shù)字真空壓力表(Pa)
● 此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣,并且氣瓶上安裝有減壓閥(設(shè)備中不包含)
● < 1.0E-2 Torr(采用機(jī)械泵)(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
● < 1.0E-5 Torr(采用渦旋分子泵)(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
● 可在本公司選購各種真空泵
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進(jìn)氣

● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶
● 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-3) mm(厚度)
● 可在本公司選購各種靶材
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薄膜測(cè)厚儀(可選)

可在本公司選購薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上
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產(chǎn)品尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H
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凈重70 kg(不包括泵)
使用提示

● 此設(shè)備有多種DIY方案可供選擇,具體請(qǐng)聯(lián)系銷售部
● 為了保證濺射效果,非導(dǎo)電靶材必須安裝銅墊塊
● 可在本公司購買單晶基片從A到Z(點(diǎn)擊下圖查看詳情)
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本公司濺射鍍膜機(jī)在500℃已經(jīng)成功將ZnO濺射在Al2O3襯底上(點(diǎn)擊下圖查看XRD圖譜)
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● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N)
● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
● 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮?dú)飧稍铮?)真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。
● 制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
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    超聲波清洗機(jī)         等離子清洗機(jī)              蒸鍍儀                     手套箱

警告

● 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

認(rèn)證

image.pngCE認(rèn)證

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。



VTC-2RF  2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀

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