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VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品牌 深圳科晶
  • 型號 VTC-1RF
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/2/17 12:41:11
  • 訪問次數(shù) 1735

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


    深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務(wù)平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實驗設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列
    •  材料基礎(chǔ)研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標準等);
    •  鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備;
    •  功能薄膜研發(fā)實驗設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等);
    •  高通量材料基因組實驗設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等);
   

公司設(shè)立了開放的研發(fā)實驗室和設(shè)備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。


    深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。


    本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學研合作。與此同時,深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)資深的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。

材料科學是基礎(chǔ)科學??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*實驗裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護航的重要保障??凭F隊將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發(fā)展做出貢獻。


電池研發(fā)實驗設(shè)備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,電氣


VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型),

配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,

特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款廉價并且高效的實驗幫手。

我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜

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性能指標和基本配置
輸入電源● 220VAC 50/60Hz, 單相
● 800W (包括真空泵)
等離子源● 配有一13.5MHz,100W的射頻電源(采用手動匹配)
● 可選配300W射頻電源(自動匹配)
● 注意:100W手動調(diào)節(jié)的RF(射頻)電源價格較低,但是每一次對于不同的靶材,都需要手動設(shè)置參數(shù)才能產(chǎn)生等離子體,比較耗費時間。300W自動匹配的RF(射頻)電源,價格較昂貴,但比較節(jié)約時間。(點擊圖片查看詳細資料)
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磁控濺射頭● 一個1英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
● 靶材尺寸: 直徑為25.4mm,最大厚度3mm
● 一個快速擋板安裝在法蘭上
● 濺射頭所需冷卻水:流速10L/min(儀器中配有一臺流速為16L/min的循環(huán)水冷機)
● 同時可選配2英寸濺射頭
● 選配2英寸濺射頭靶材尺寸:直徑為50.8mm,最大厚度6mm
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真空腔體● 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高純石英制作
● 密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
● 一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體
● 真空度:<1.0×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵)

<5×10-5 torr (采渦旋分子泵)


載樣臺● 載樣臺可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)并可加熱
● 載樣臺尺寸:直徑50mm (最大可放置2英寸的基片)
● 旋轉(zhuǎn)速度:1 - 20 rpm
● 樣品臺的最高加熱溫度為700℃(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500℃
● 控溫精度+/- 10℃
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真空泵● 我公司有多種真空泵可選,請點擊圖片,或是致電我公司銷售
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薄膜測厚儀● 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監(jiān)測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?
● LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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質(zhì)保和質(zhì)量認證● 一年質(zhì)保期,終生維護
● CE認證
外形尺寸image.png
使用注意事項● 這款1英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
● 為了較好地排出真空腔體中的氧氣,建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗2-3次,可有效減少真空腔體中的氧含量
● 請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后,再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)
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VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀

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