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半導(dǎo)體單片刻蝕清洗設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 無錫亞電智能裝備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 江蘇無錫
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2020/3/9 9:32:11
  • 訪問次數(shù) 597
產(chǎn)品標(biāo)簽

半導(dǎo)體濕法清洗晶圓清洗

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大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù),是*批推進半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備,包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備,涵蓋多種前道濕法工藝,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應(yīng)對個性化的清洗需求,公司還研發(fā)了多種輔助清洗機臺,如:爐管清洗機,片盒清洗機,部件清洗機,本地化學(xué)品供液設(shè)備,濕法工作臺,烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達成友好合作。

半導(dǎo)體產(chǎn)品、液晶、太陽能光伏、環(huán)保設(shè)備的研發(fā)、制造、維修

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
儀器種類 專用型 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

產(chǎn)品詳情

單片刻蝕設(shè)備

 - 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn);

 - 結(jié)構(gòu)合理緊湊,占地面積?。?

 - 配置ULPA FFU ,帶CDS供液及回收系統(tǒng), 自動補液配液(通常3種藥液)

 - Chamber內(nèi)正面2~3個Dispenser 及一個Fix Nozzle, 背面帶DI Nozzle;

 - MTTR: 小于60min,MTBF: 小500Hour;

 - 配置離子發(fā)生器及高清攝像頭;

 - 4~24 個腔體。

大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù),是*批推進半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備,包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備,涵蓋多種前道濕法工藝,如B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應(yīng)對個性化的清洗需求,公司還研發(fā)了多種輔助清洗機臺,如:爐管清洗機,片盒清洗機,部件清洗機,本地化學(xué)品供液設(shè)備,濕法工作臺,烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達成友好合作



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