Femto SEM A三合一超快掃描電鏡解決方案采用飛秒級激光激發(fā)陰極電子束，同時在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質量，并在脈沖發(fā)生器關閉時對正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒有），通過同頻異步雙激發(fā)可實現飛秒級時間分辨率（光激發(fā)），并保持 SEM 的原始固有空間分辨率（電激發(fā)）。再融合飛秒激光泵浦樣品聯動，實現對樣品的超快表征。

特點：

• 飛秒級激光激發(fā)陰極電子束

• 皮秒級射頻電激發(fā)電子束

• 同頻異步雙激發(fā)

• 飛秒激光泵浦樣品聯動

規(guī)格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：200kHz~25MHz（光激發(fā)），15MHz~3GHz（電激發(fā)）

• 電子脈沖長度：300fs（光激發(fā)），100ps~period-100ps（電激發(fā)）

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發(fā)下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。