化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>干法工藝設(shè)備>等離子體刻蝕設(shè)備>VPC-500F8 普樂斯半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)
VPC-500F8 普樂斯半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 昆山普樂斯電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 VPC-500F8
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/9/19 11:16:30
- 訪問次數(shù) 319
產(chǎn)品標(biāo)簽
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型號 | VPC-500F8 | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
PLC（標(biāo)配）/PC（可選） | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W1150×D1400×H1720mm | |
腔體 | 尺寸 | W500×D636×H520mm | |
材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | ||
電極 | 結(jié)構(gòu)尺寸 | 組合柜式， W458×D544×H425mm | |
分隔數(shù)量 | 8個料盒 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | |
形狀 | 平板式/滾輪式（可選） | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個；Ar、N2、H2（可選） | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~1000W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 7KW | |
機(jī)臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵（泵組）、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 | ||
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