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PlasmaPro 100 Polaris 單晶圓刻蝕系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 OXFORD/英國牛津
  • 型號(hào) PlasmaPro 100 Polaris
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/6/6 7:27:42
  • 訪問次數(shù) 372
產(chǎn)品標(biāo)簽

刻蝕堅(jiān)硬材料刻蝕

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

    1. 產(chǎn)品概述

憑借在蝕刻GaN,SiC和藍(lán)寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗(yàn),我們的技術(shù)既能夠滿足性價(jià)比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統(tǒng)為得到更為精細(xì)的刻蝕效果提供了智能解決方案,使您在行業(yè)中能保持競爭優(yōu)勢。

2. 特色參數(shù)

高效的刻蝕速率

低購置成本

為腐蝕性的化學(xué)成分而設(shè)計(jì)

出色的刻蝕均勻性

適用于藍(lán)寶石的靜電壓盤技術(shù)

藍(lán)寶石和硅上的GaN

高導(dǎo)通抽氣系統(tǒng)

可與其它PlasmaPro系統(tǒng)集成

主動(dòng)冷卻電 - 在刻蝕過程中保持樣品溫度。

高功率ICP源 - 產(chǎn)生高密度等離子體。

可靠的硬件且易于維護(hù) - 可保持長時(shí)間正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

磁場墊環(huán) - 增強(qiáng)離子的控制和均勻性。

靜電壓盤技術(shù) - 適用于藍(lán)寶石,以及藍(lán)寶石和硅基的GaN。

加熱的腔室內(nèi)襯 - 優(yōu)化以減少腔壁沉積。

先進(jìn)的自動(dòng)匹配單元(AMU) - 提供快速,高效和準(zhǔn)確的匹配,確保了工藝的高度精準(zhǔn)重復(fù)性


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