IoN 10Q IoN系列等離子清洗去膠系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

半導(dǎo)體前道去膠

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

IoN系列等離子系統(tǒng)具有多種射頻電源選項，可滿足客戶的特定工藝和產(chǎn)量要求。我們提供不同腔體和電配置，大腔體可達 1200 升。

PVA TePla 的 IoN 10Q 是一款桌式全功能射頻等離子機，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產(chǎn)使用而設(shè)計，多可處理 25片晶圓，晶圓大尺寸為 150 毫米。

PVA TePla的IoN 100-40Q是一款功能齊全的射頻等離子機，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產(chǎn)使用而設(shè)計，多可處理50片晶圓，晶圓大尺寸為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 單片晶圓去膠機是一款功能齊全的先進射頻等離子機，可用于單片晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產(chǎn)使用而設(shè)計，可處理大的晶圓為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 200 是一款功能齊全的射頻等離子機，可用于表面改性，設(shè)計用于實驗室和處理大型基板或大批量生產(chǎn)。該機臺還為等離子增強化學(xué)氣相沉積應(yīng)用提供了對應(yīng)的功能。

PVA TePla 的 IoN 40 是一款功能齊全的桌式先進射頻等離子機，可用于表面改性，為實驗室和量產(chǎn)使用而設(shè)計，適用于處理較小的基板或中小產(chǎn)量。該機臺還為等離子增強化學(xué)氣相沉積應(yīng)用提供了對應(yīng)的功能。