化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備> 聚焦離子束系統(tǒng)FIB
聚焦離子束系統(tǒng)FIB
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 16:16:44
- 訪問次數(shù) 272
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v FIB是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用于樣品表面,應(yīng)用于:產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像,此功能與SEM相似,用強(qiáng)電流離子束對(duì)表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工,通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng),有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層
v 芯片領(lǐng)域應(yīng)用:IC芯片電路修改,Cross-Section 截面分析,FIB透射電鏡樣品制備,材料鑒定
v 液態(tài)金屬離子源:分辨率3nm@30kv 120nm@1kv
v 檢測(cè)器:Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可變氣壓二次電子探測(cè)器)、SESI(二次電子二次離子探測(cè)器)、aSTEM(掃描透射電子探測(cè)器)、aBSD(背散射探測(cè)器)