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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備> 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備

半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/15 16:55:08
  • 訪問次數(shù) 304

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

蘇州芯矽科技的半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備以其高精度刻蝕、穩(wěn)定可靠的性能特點,結(jié)合優(yōu)質(zhì)的用材和詳細(xì)的使用說明,為半導(dǎo)體制造行業(yè)提供了高效、精準(zhǔn)的解決方案,助力提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

性能

高精度刻蝕:能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的刻蝕效果,適用于各種復(fù)雜的半導(dǎo)體材料和工藝要求,可滿足集成電路制造中對微小結(jié)構(gòu)精確加工的需求。例如在芯片制造過程中,能精準(zhǔn)地在硅片上刻蝕出符合設(shè)計要求的電路圖案。

穩(wěn)定可靠:設(shè)備具有出色的穩(wěn)定性,可長時間穩(wěn)定運(yùn)行,降低生產(chǎn)中斷風(fēng)險,保障了半導(dǎo)體生產(chǎn)的連續(xù)性和良品率。其采用控制系統(tǒng)和工藝流程,能夠確保每個芯片的一致性和穩(wěn)定性,減少因設(shè)備波動導(dǎo)致的產(chǎn)品差異。

半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備

用材

主體材料:主體材料采用德國進(jìn)口的PP板和優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包PP板,確保設(shè)備的耐腐蝕性和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

管路及構(gòu)件材料:DIW(去離子水)管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口的clean-PVC管材,酸堿管路則采用PFA/PVDF材質(zhì),以滿足18M去離子水水質(zhì)要求,保證設(shè)備在化學(xué)處理過程中的安全性和可靠性。

半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備

使用說明

操作前準(zhǔn)備:操作人員需熟悉設(shè)備的操作流程和安全注意事項。檢查設(shè)備的連接是否正常,包括氣體供應(yīng)、液體管路等,確保設(shè)備處于良好的工作狀態(tài)。根據(jù)刻蝕工藝的要求,準(zhǔn)備好相應(yīng)的化學(xué)溶液和耗材。

操作過程:按照設(shè)定的程序啟動設(shè)備,先將晶圓放入設(shè)備中的位置,通常是通過自動化的傳輸系統(tǒng)將晶圓送入刻蝕腔體。設(shè)置合適的刻蝕參數(shù),如化學(xué)溶液的流量、溫度、刻蝕時間等,這些參數(shù)需要根據(jù)不同的半導(dǎo)體材料和工藝要求進(jìn)行調(diào)整。在刻蝕過程中,密切關(guān)注設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),如有異常及時處理。

操作后維護(hù):刻蝕完成后,將晶圓從設(shè)備中取出,進(jìn)行后續(xù)的清洗和檢測。對設(shè)備進(jìn)行清潔和維護(hù),清理刻蝕腔體內(nèi)的殘留物,檢查設(shè)備的部件是否有損壞或磨損,及時更換易損件。定期對設(shè)備進(jìn)行全面的保養(yǎng)和校準(zhǔn),以確保設(shè)備的性能始終保持狀態(tài)。





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