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晶圓光刻膠冷卻用工業(yè)冷水機

參考價 57000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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邁浦特科技2010年成立于香港,蘇州邁浦特機減有限公司是邁浦特機械在大陸設立的生產基地,并于2017年在南通成立南通邁浦特機械有限公司,于2021年在廣東深圳成立深圳浦特機械有限公司以及2024年在四川成立邁浦特機械有限公司公司一直致力于TCU溫控系統(tǒng),新能源溫控測試系統(tǒng)、高低溫一體機,模具溫度控制機,冷水機,冷熱一體機等溫度控制機的研發(fā)、生產、銷售、服務和技術咨詢,提供工業(yè)溫度控制技術及解決方案的供應商,

邁浦特信助于多年成功經(jīng)驗,以專業(yè)技術,在壓鑄,食品化工,醫(yī)療,印刷,包裝,復合材料,電池包、測試機,橡膠壓延等科研行業(yè)提供所需的各種溫控設備和技服務,為客戶們提供各種應用工藝過程中加熱或冷卻,恒溫的技術服務,不僅僅是提供設備,我們提供更多的是解決方案以及對使用者的合理建議,注重客戶的使用感受,對設備品質孜孜不的追求,得到業(yè)界和使用客戶一致認可,是替代進口設備的可靠選擇。



高低溫一體機,冷熱一體機,模溫機,油溫機,TCU溫控系統(tǒng),冷水機組

應用領域 食品/農產品,化工,生物產業(yè),制藥/生物制藥

晶圓光刻膠冷卻用工業(yè)冷水機為晶圓光刻膠全流程研發(fā)的工業(yè)冷水機,聚焦 ±0.1℃超高精度控溫與毫秒級動態(tài)響應能力,集成光刻膠黏度穩(wěn)定、光學系統(tǒng)熱補償、機械結構恒溫等核心功能,滿足 EUV 光刻、ArF 沉浸式光刻、納米壓印等制程需求。助力 28nm 節(jié)點曝光良率提升至 96%,線寬偏差控制在 ±10nm 以內。

應用場景與工藝匹配
  • 光刻膠恒溫控制
    在 23±0.1℃環(huán)境下,通過變頻水泵調節(jié)流量(5-30L/min),使光刻膠黏度波動≤±2%,某晶圓廠數(shù)據(jù)顯示,顯影后線寬偏差從 ±20nm 降至 ±10nm,28nm 節(jié)點曝光良率提升至 96%。

  • 光學系統(tǒng)熱管理
    在 - 10℃至 25℃寬溫域下,通過微通道熱流罩技術導出光刻機鏡頭熱量,控制熱膨脹導致的像差<0.1nm,某企業(yè)數(shù)據(jù)顯示,EUV 光刻套刻精度提升至 ±8nm。









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