Surface系列 平面氣浮是地心科技高精度和高動態(tài)性能平面氣浮平臺，它是XY雙氣浮軸承正負(fù)壓設(shè)計，采用空氣環(huán)繞型預(yù)載，利用空氣負(fù)壓來平衡氣浮導(dǎo)軌往上浮和下壓預(yù)載力，保證氣浮面的正常氣隙，幾何性能非常出色，俯仰和偏擺角度均小于2角秒。

雙氣浮軸承設(shè)計提升Surface系列氣浮平臺的負(fù)載能力和剛度，一階自然響應(yīng)頻率可達(dá)330Hz以上，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上，使其具備高速高效運動，同時又能減少步進(jìn)穩(wěn)定時間。

Surface系列 平面氣浮雙驅(qū)軸與橫梁軸均采用空氣導(dǎo)軌的H橋式結(jié)構(gòu)，零摩擦設(shè)計保證了出色的動態(tài)性能和效率，速度可達(dá)2m/s，加速度2g。Surface 系列平臺行程可以根據(jù)客戶要求定制，還可與Surface Z 、Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統(tǒng)， 適用于不同尺寸的和工藝的晶圓檢測應(yīng)用。

Surface系列平臺最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測試

10nm最小步進(jìn)（ASH反饋，配置線性放大器）

備注

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器，速度受限于反饋分辨率；

（3）默認(rèn)測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負(fù)載重量可調(diào)；

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關(guān)，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。