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TFW-100 LAMBDA拉姆達(dá)日本光譜膜厚儀分光膜厚測(cè)量
參考價(jià) | ¥ 2999 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 美薩科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) TFW-100
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/21 17:13:47
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 22
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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LAMBDA拉姆達(dá)日本光譜膜厚儀分光膜厚測(cè)量
分光膜厚測(cè)量 TFW-100(1)/(2)/(3)
這是工業(yè)領(lǐng)域的低成本光譜膜厚測(cè)量設(shè)備。
由于它是非接觸式和非破壞性的,因此可以在短時(shí)間內(nèi)輕松測(cè)量而不會(huì)損壞樣品。
它廣泛用于研發(fā)和在線(xiàn)質(zhì)量控制中的膜厚測(cè)量。
以低廉的價(jià)格實(shí)現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。
LAMBDA拉姆達(dá)日本光譜膜厚儀分光膜厚測(cè)量 <特點(diǎn)>
?可進(jìn)行非接觸式、非破壞性的膜厚測(cè)量。
?厚度為 10nm~1000μm,可支持多達(dá) 3 層的膜厚測(cè)量。
?不僅可以測(cè)量薄膜厚度,還可以測(cè)量光學(xué)倍增器(n、k)。
(最多 3 個(gè)參數(shù))
? 與微小點(diǎn)兼容。
?還可以測(cè)量彩色濾光片顏料膜的厚度。
■ 規(guī)格
類(lèi)型 | TFW-100型 (1) | TFW-100型 (2) | TFW-100型 (3) | |||||||||||||||||||||||||||||||
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用 | 用于 ITO 等薄膜 | 一般用于薄膜厚度 | 彩色濾鏡顏料用于 薄膜厚度 | |||||||||||||||||||||||||||||||
測(cè)量的薄膜厚度 | 數(shù)量:10nm ~ 500nm (C/F), 500nm ~ 15μm (FFT) | 150nm~1.5μm(C/F) 1.5μm~60μm(FFT) | 500nm~10μm(C/F) | |||||||||||||||||||||||||||||||
測(cè)量可重復(fù)性 | 0.2%~1%(取決于薄膜質(zhì)量) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
測(cè)量波長(zhǎng) | 300納米~1000納米 | 400 納米~700 納米 | 900納米~1600納米 | |||||||||||||||||||||||||||||||
光源 | 12V-100W 鹵素?zé)?/td> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
測(cè)量軟件 | TF-Lab (曲線(xiàn)擬合 / FFT) |
■ 膜厚測(cè)量的應(yīng)用實(shí)例
(1) 與晶圓輸送機(jī)相結(jié)合的自動(dòng)測(cè)量 | (2) 使用帶有 XYZ 平臺(tái)的樣品測(cè)量臺(tái)進(jìn)行測(cè)量 | |
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