化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>傳熱設(shè)備>其它傳熱設(shè)備> 半導(dǎo)體鍍膜冷卻用工業(yè)冷水機(jī)丨真空腔體冷卻

半導(dǎo)體鍍膜冷卻用工業(yè)冷水機(jī)丨真空腔體冷卻

參考價(jià)	￥ 155000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 邁浦特機(jī)械（四川）有限公司
品牌 邁浦特
型號(hào)
產(chǎn)地 江蘇省昆山市
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/7/17 9:38:20
訪問(wèn)次數(shù) 21

產(chǎn)品標(biāo)簽

半導(dǎo)體鍍膜冷卻冷水機(jī)濺射鍍膜溫控系統(tǒng)CVD 冷卻工業(yè)冷水機(jī)晶圓鍍膜制冷設(shè)備

在線交流發(fā)送詢(xún)價(jià) 查看電話同類(lèi)產(chǎn)品

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

邁浦特科技2010年成立于香港，蘇州邁浦特機(jī)減有限公司是邁浦特機(jī)械在大陸設(shè)立的生產(chǎn)基地，并于2017年在南通成立南通邁浦特機(jī)械有限公司，于2021年在廣東深圳成立深圳浦特機(jī)械有限公司以及2024年在四川成立邁浦特機(jī)械有限公司公司一直致力于TCU溫控系統(tǒng)，新能源溫控測(cè)試系統(tǒng)、高低溫一體機(jī)，模具溫度控制機(jī)，冷水機(jī)，冷熱一體機(jī)等溫度控制機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)和技術(shù)咨詢(xún)，提供工業(yè)溫度控制技術(shù)及解決方案的供應(yīng)商，

邁浦特信助于多年成功經(jīng)驗(yàn)，以專(zhuān)業(yè)技術(shù)，在壓鑄，食品化工，醫(yī)療，印刷，包裝，復(fù)合材料，電池包、測(cè)試機(jī)，橡膠壓延等科研行業(yè)提供所需的各種溫控設(shè)備和技服務(wù)，為客戶(hù)們提供各種應(yīng)用工藝過(guò)程中加熱或冷卻，恒溫的技術(shù)服務(wù)，不僅僅是提供設(shè)備，我們提供更多的是解決方案以及對(duì)使用者的合理建議，注重客戶(hù)的使用感受，對(duì)設(shè)備品質(zhì)孜孜不的追求，得到業(yè)界和使用客戶(hù)一致認(rèn)可，是替代進(jìn)口設(shè)備的可靠選擇。

展開(kāi)

高低溫一體機(jī)，冷熱一體機(jī)，模溫機(jī)，油溫機(jī)，TCU溫控系統(tǒng)，冷水機(jī)組

詳細(xì)信息 在線詢(xún)價(jià)

應(yīng)用領(lǐng)域	食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥

一、產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體鍍膜冷卻用工業(yè)冷水機(jī)是專(zhuān)為半導(dǎo)體晶圓鍍膜工藝（如濺射鍍膜、蒸鍍、化學(xué)氣相沉積 CVD）研發(fā)的專(zhuān)業(yè)制冷設(shè)備，核心作用是為鍍膜機(jī)的靶材、腔體、基片臺(tái)等關(guān)鍵部件提供 5℃-35℃的精準(zhǔn)冷卻，控制鍍膜過(guò)程中的溫度穩(wěn)定性，確保薄膜厚度均勻性、附著力及電學(xué)性能。在半導(dǎo)體鍍膜中，溫度波動(dòng) 1℃可能導(dǎo)致薄膜厚度偏差超 2%，方塊電阻波動(dòng) 5% 以上，傳統(tǒng)冷卻設(shè)備存在控溫精度低（±1℃）、潔凈度不足（微粒污染）、與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)性弱等問(wèn)題，導(dǎo)致晶圓報(bào)廢率超 1%.

二、產(chǎn)品描述

超高潔凈精準(zhǔn)冷卻系統(tǒng)：實(shí)現(xiàn) 5℃-35℃寬域控溫（靜態(tài)精度 ±0.5℃）。針對(duì)鍍膜工藝的溫度均勻性要求，通過(guò)微通道分流技術(shù)與三維溫度場(chǎng)模擬優(yōu)化，確保晶圓表面（12 英寸晶圓）溫度均勻性偏差≤±0.5℃，靶材溫度穩(wěn)定性控制在 ±0.3℃。相比傳統(tǒng)設(shè)備，濺射鍍膜的薄膜厚度均勻性從 ±3% 提升至 ±0.8%，CVD 沉積的薄膜應(yīng)力（壓應(yīng)力）從 ±50MPa 降至 ±10MPa，有效減少因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的膜層缺陷（如針孔、開(kāi)裂）。

智能鍍膜聯(lián)動(dòng)技術(shù)：搭載 PLC 與光纖溫度傳感器，實(shí)時(shí)采集靶材溫度、腔體真空度、鍍膜功率、冷卻水溫等 10 項(xiàng)參數(shù)，通過(guò)鍍膜 - 熱負(fù)荷模型動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)制冷量。支持與鍍膜機(jī)控制系統(tǒng)對(duì)接，根據(jù)鍍膜階段（如預(yù)熱→沉積→退火）自動(dòng)切換冷卻模式，實(shí)現(xiàn) “高功率濺射 - 強(qiáng)冷卻”“精密鍍膜 - 恒溫控制” 的智能匹配。操作人員通過(guò)無(wú)塵觸摸屏預(yù)設(shè) 20 組鍍膜工藝程序（適配不同材料、膜層厚度），系統(tǒng)自動(dòng)記錄溫度 - 膜層性能關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)追溯要求。

超高潔凈安全設(shè)計(jì)：與冷卻介質(zhì)接觸部件采用 316L 不銹鋼（電解拋光 Ra≤0.4μm），水路系統(tǒng)配備超純水過(guò)濾裝置（電阻率≥18.2MΩ?cm），滿足 ISO 5 級(jí)潔凈室要求（0.5μm 微?！?520 粒 /m3）。設(shè)備外殼采用無(wú)磁不銹鋼，表面防靜電處理（表面電阻 10?-10?Ω），防護(hù)等級(jí)達(dá) IP65，適應(yīng)半導(dǎo)體潔凈車(chē)間環(huán)境。配備多重安全保護(hù)：超溫聯(lián)鎖（靶材溫度超設(shè)定值 2℃立即報(bào)警）、流量不足保護(hù)（響應(yīng)時(shí)間≤0.5s）、微粒濃度監(jiān)測(cè)（超標(biāo)自動(dòng)停機(jī)），符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)。

三、應(yīng)用場(chǎng)景

12 英寸晶圓濺射車(chē)間：用于 7nm 邏輯芯片的銅互聯(lián)層濺射鍍膜冷卻，控制靶材溫度在 20℃±0.3℃，基片臺(tái)溫度在 30℃±0.2℃，使銅膜厚度均勻性偏差≤±0.5%，電阻率穩(wěn)定在 1.7μΩ?cm，滿足制程的電學(xué)性能要求。

化合物半導(dǎo)體鍍膜工廠：在 GaN-on-SiC 外延片的 MOCVD 鍍膜中，為反應(yīng)腔體提供 15℃±0.3℃冷卻，控制外延層厚度偏差≤±1%，晶體缺陷密度降至 10?cm?2 以下，適應(yīng) 5G 射頻器件的高性能需求。

存儲(chǔ)芯片鍍膜生產(chǎn)線：針對(duì) 3D NAND 閃存的 ALD（原子層沉積）工藝，通過(guò) 8℃±0.2℃精準(zhǔn)冷卻，使氧化層 / 氮化層交替生長(zhǎng)的厚度控制精度達(dá) ±0.1nm，存儲(chǔ)單元閾值電壓偏差≤±5mV，提升芯片存儲(chǔ)密度。