CY-SPC4-SS-JH 凈化型4寸勻膠機旋涂儀
參考價 | ¥ 69500 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-SPC4-SS-JH
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/7 11:02:22
- 訪問次數(shù) 80
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
凈化型4寸勻膠機旋涂儀特點:
1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業(yè)學習
5、采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
7、排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕,可電動升降前擋玻璃板。
凈化型4寸勻膠機旋涂儀主要技術參數(shù):
勻膠時間 | 1-99秒 |
勻膠轉數(shù) | 0-8000轉/分 |
操作區(qū)風速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 | 100級(美國聯(lián)邦標準) |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外體顏色 | 亞白色 |
控制范圍和精度 | 轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3% |
時間控制范圍為 | 1-99秒,精度為±5% |
轉速調(diào)整 | 采用PID調(diào)節(jié),精度高 |
轉速查看智能化 | 可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上??捎柘冗x定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速 |