CY-EVP500-EB 離子源電子束蒸發(fā)鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-EVP500-EB
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/30 16:43:15
- 訪問次數(shù) 42
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
該電子束蒸發(fā)方式鍍膜儀,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
電子束蒸發(fā)鍍膜儀設備技術參數(shù)
使用條件 | 環(huán)境溫度 | 5℃~40℃ |
電源 | 380V | |
功率 | ≤20KW | |
水壓 | ≤2.5bar | |
真空室尺寸 | 蒸發(fā)室尺寸 | φ500×H500(㎜) |
過渡倉庫 | φ280×H300(㎜) | |
電子槍 | 新型電子槍1套,6穴坩堝 | |
離子源 | 考夫曼離子源K08一套 | |
樣品轉(zhuǎn)盤 | 樣品尺寸:≤φ150mm,樣品可旋轉(zhuǎn),也可上下升降調(diào)節(jié)樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500℃ | |
系統(tǒng)真空度 | 極限真空 | 經(jīng)12~24小時烘烤,連續(xù)抽氣≤5x10-5Pa |
| 抽氣速率 | 從大氣開始40分鐘內(nèi)真空度≤5x10-4Pa |
| 系統(tǒng)漏率 | 整機漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關機12小時后,測量真空室真空度≤10Pa |
抽真空系統(tǒng) | TY1200分子泵+機械泵(VRD-30)系統(tǒng),并設置旁路抽氣 | |
鍍膜監(jiān)測 | 采用TM160膜厚儀進行監(jiān)測 | |
鍍膜厚度的不均勻度 | ≤3% |
