BV200 蝶閥
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:44:56
- 訪問次數 99
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創(chuàng)新點
雙路自匹配壓力傳感技術
支持兩路真空規(guī)信號采集，兼容±15V或±24真空規(guī)供電，可根據工藝需求自動切換量程。
自學習功能技術
支持自學功能，可自適應不同腔室真空系統(tǒng)及不同工況，實現快速、準確的壓力控制。
L-V-P壓力控制技術
壓控單元通過記錄工藝環(huán)境下壓力與閥門開度關系，采用位置、速度和壓力三環(huán)相結合，同時進行壓位比、位壓比、目標壓力位置、到達目標壓力估算時長動態(tài)計算，從而主動干預閥口開度變化量，實現快速、穩(wěn)定控壓。
伺服驅動技術
采用定制伺服控制片載系統(tǒng)，通過多點斜坡控制算法，實現蝶板更快定位，開關響應時間可達0.2秒。
應用領域
半導體-集成電路
功率半導體
技術指標
| 型號 | BV200 | |
| 材質 | 閥體/閥板 | 鋁合金6061/不銹鋼613L |
| 軸/閥板螺釘 | 不銹鋼316L | |
| 軸承套筒 | lglidur X | |
| 軸承密封圈 | 環(huán)境端 | FKM |
| 真空端 | FKM | |
閥體漏率 | 不銹鋼材質 | 1×10E-9 mbar ·L/s |
| 通信接口 | RS485(D-sub female,DB25)或DeviceNet(DNET航空插頭) | |
| 供電口 | 接口類型 | D-sub male,DA15 |
| 電壓 | +24 VDC | |
功耗 | 控制/驅動 | 40 W |
| 使用環(huán)境 | 溫度 | 0~50攝氏度，建議在35度以下使用 |
| 濕度 | 0~95%RH | |
| 規(guī)接口參數 | 接口類型 | D-sub female,DA15 |
| 信號電壓 | 0～10VDC線性壓力 | |
| ADC分辨率 | 0.1 mV | |
| 采樣時間 | 2ms | |
| 供電電壓(輸出) | +24 VDC/1.5A max. | |
| 執(zhí)行器 | 步進電機 | |
| 電機分辨率 | 12800(90°) | |
| 控壓精度 | 5 mV或設定點的0.1%,取大值 | |
| 防護等級 | IP 40 | |
| 通道內徑 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm | |
| 閥板開關時間 | 0.2s | |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進行標定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴)
標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設定點值
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