BV300 蝶閥
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:46:11
- 訪問次數(shù) 123
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創(chuàng)新點
雙路自匹配壓力傳感技術(shù)
支持兩路真空規(guī)信號采集，兼容±15V或+24V真空規(guī)供電，可根據(jù)工藝需求自動切換量程。
L-V-P壓力控制技術(shù)
壓控單元通過記錄工藝環(huán)境下壓力與閥門開度關(guān)系，采用位置、速度和壓力三環(huán)相結(jié)合同時進(jìn)行壓位比、位壓比、目標(biāo)壓力位置、到達(dá)目標(biāo)壓力估算時長動態(tài)計算，從而主動干預(yù)閥口開度變化量，實現(xiàn)快速、穩(wěn)定控壓。
自學(xué)習(xí)功能技術(shù)
支持自學(xué)習(xí)功能，可自適應(yīng)不同腔室真空系統(tǒng)及不同工況，實現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓力控制。
伺服驅(qū)動技術(shù)
采用定制伺服控制片載系統(tǒng)，通過多點斜坡控制算法，實現(xiàn)蝶板更快定位，開關(guān)響應(yīng)時間可達(dá)0.2s。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
半導(dǎo)體-微機(jī)電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | BV300 |
| 法蘭端接口形式及大小 | ISO-KF:DN40、DN50; ISO-F: DN63、DN80、DN100、DN160、DN200 |
| 漏率 | 1 ×10E-9 mbar l/s |
| 壓力范圍(20℃時) | 1×10E-8mbar-1.2bar (abs) |
| 壓力控制精度 | 5 mV or 0.1%of setpoint, 兩者取 |
| 傳感器輸入信號 | 0-10VDC |
| 材質(zhì) | 閥體/閥板：316L/鋁；密封圈：氟橡膠/全氟 |
| 位置分辨率 | 12800(90°角) |
| 響應(yīng)時間 | 非密封款：開關(guān)0.2S;密封款：開關(guān)0.6S |
| 通信接口 | D-Sub, DB-25 Female, RS422/RS485, RS232, DeviceNet,EtherCAT |
| 供電接口 | D-Sub, DA-15 male, +24 VDC(±10%)@0.5 V pk-pk max |
| 真空規(guī)接口(傳感器接口) | D-Sub, DA-15 female |
| 運(yùn)行環(huán)境溫度 | 0 ℃ to +50 ℃ max. (推薦<35 ℃) |
| 安裝位置 | 水平和豎直安裝 |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進(jìn)行標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點值
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